ប្រព័ន្ធ Vacuum Coating System គឺជាបច្ចេកវិទ្យាមួយដែលប្រើសម្រាប់អនុវត្តខ្សែភាពយន្តស្តើង ឬថ្នាំកូតទៅលើផ្ទៃក្នុងបរិយាកាសទំនេរ។ ដំណើរការនេះធានាបាននូវថ្នាំកូតដែលមានគុណភាពខ្ពស់ ឯកសណ្ឋាន និងប្រើប្រាស់បានយូរ ដែលមានសារៈសំខាន់នៅក្នុងឧស្សាហកម្មផ្សេងៗដូចជា អេឡិចត្រូនិក អុបទិក យានយន្ត និងលំហអាកាស។ មានប្រភេទផ្សេងគ្នានៃប្រព័ន្ធបូមធូលី ដែលនីមួយៗសាកសមសម្រាប់កម្មវិធីជាក់លាក់។ នេះគឺជាប្រភេទសំខាន់ៗមួយចំនួន៖
ការទម្លាក់ចំហាយរូបវិទ្យា (PVD)៖ ដំណើរការនេះពាក់ព័ន្ធនឹងការផ្ទេររូបធាតុនៃវត្ថុពីប្រភពរឹង ឬរាវទៅកាន់ស្រទាប់ខាងក្រោម។ វិធីសាស្រ្តទូទៅរួមមាន:
Sputtering: សម្ភារៈត្រូវបានច្រានចេញពីគោលដៅមួយ ហើយដាក់នៅលើស្រទាប់ខាងក្រោម។
ការហួត៖ សម្ភារៈត្រូវបានកំដៅរហូតដល់វាហួត ហើយបន្ទាប់មក condenses នៅលើស្រទាប់ខាងក្រោម។
កំណកចំហាយគីមី (CVD)៖ ដំណើរការនេះពាក់ព័ន្ធនឹងប្រតិកម្មគីមីរវាងចំហាយនៃដំណាក់កាលមុន និងផ្ទៃស្រទាប់ខាងក្រោម បង្កើតជាខ្សែភាពយន្តរឹង។ វ៉ារ្យ៉ង់រួមមាន:
Plasma-Enhanced CVD (PECVD)៖ ប្រើប្លាស្មាដើម្បីបង្កើនប្រតិកម្មគីមី។
Metal-Organic CVD (MOCVD)៖ ប្រើសមាសធាតុលោហៈ-សរីរាង្គជាបុព្វបទ។
ការទម្លាក់ស្រទាប់អាតូមិក (ALD)៖ ដំណើរការគ្រប់គ្រងខ្ពស់ដែលដាក់ស្រទាប់អាតូមិកម្តងមួយៗ ធានាបាននូវកម្រាស់ និងសមាសភាពច្បាស់លាស់។
Magnetron Sputtering: ប្រភេទនៃ PVD ដែលវាលម៉ាញេទិកត្រូវបានប្រើដើម្បីបង្ខាំងប្លាស្មា បង្កើនប្រសិទ្ធភាពនៃដំណើរការ sputtering ។
Ion Beam Deposition: ប្រើធ្នឹមអ៊ីយ៉ុងដើម្បីប្រោះសម្ភារៈពីគោលដៅ ហើយដាក់វាទៅលើស្រទាប់ខាងក្រោម។
កម្មវិធី៖
Semiconductors: ថ្នាំកូតសម្រាប់មីក្រូឈីប និងគ្រឿងអេឡិចត្រូនិក។
អុបទិក៖ ថ្នាំកូតប្រឆាំងនឹងការឆ្លុះបញ្ចាំង កញ្ចក់ និងកញ្ចក់។
យានជំនិះ៖ ថ្នាំកូតសម្រាប់គ្រឿងម៉ាស៊ីន និងគ្រឿងតុបតែងលម្អ។
លំហអាកាស៖ របាំងការពារកម្ដៅ និងស្រទាប់ការពារ។
អត្ថប្រយោជន៍៖
ថ្នាំកូតឯកសណ្ឋាន៖ សម្រេចបាននូវកម្រាស់ និងសមាសភាពជាប់លាប់នៅទូទាំងស្រទាប់ខាងក្រោម។
ភាពស្អិតជាប់ខ្ពស់៖ ថ្នាំកូតស្អិតជាប់បានល្អទៅនឹងស្រទាប់ខាងក្រោម បង្កើនភាពធន់។
ភាពបរិសុទ្ធ និងគុណភាព៖ បរិយាកាសបូមធូលីកាត់បន្ថយការចម្លងរោគ ដែលបណ្តាលឱ្យមានថ្នាំកូតដែលមានភាពបរិសុទ្ធខ្ពស់។
- អត្ថបទនេះត្រូវបានចេញផ្សាយដោយក្រុមហ៊ុនផលិតម៉ាស៊ីនបូមធូលីក្វាងទុងហ្សេនហួ
ពេលវេលាផ្សាយ៖ ខែកក្កដា-០៩-២០២៤