ការផលិតឧបករណ៍ខ្សែភាពយន្តស្តើងអុបទិកត្រូវបានអនុវត្តនៅក្នុងបន្ទប់ខ្វះចន្លោះ ហើយការរីកលូតលាស់នៃស្រទាប់ខ្សែភាពយន្តគឺជាដំណើរការមីក្រូទស្សន៍។ ទោះជាយ៉ាងណាក៏ដោយនាពេលបច្ចុប្បន្ននេះដំណើរការម៉ាក្រូស្កូបដែលអាចគ្រប់គ្រងដោយផ្ទាល់គឺជាកត្តាម៉ាក្រូស្កូបមួយចំនួនដែលមានទំនាក់ទំនងដោយប្រយោលជាមួយនឹងគុណភាពនៃស្រទាប់ខ្សែភាពយន្ត។ ទោះបីជាយ៉ាងណាក៏ដោយ តាមរយៈការស្រាវជ្រាវពិសោធន៍យូរអង្វែង មនុស្សបានរកឃើញទំនាក់ទំនងទៀងទាត់រវាងគុណភាពខ្សែភាពយន្ត និងកត្តាម៉ាក្រូទាំងនេះ ដែលបានក្លាយជាការបញ្ជាក់ដំណើរការដើម្បីណែនាំការផលិតឧបករណ៍ធ្វើដំណើរខ្សែភាពយន្ត និងដើរតួនាទីយ៉ាងសំខាន់ក្នុងការផលិតឧបករណ៍ស្តើងអុបទិកគុណភាពខ្ពស់។
1. ឥទ្ធិពលនៃការបូមធូលី
ឥទ្ធិពលនៃកម្រិតខ្វះចន្លោះលើលក្ខណៈសម្បត្តិនៃខ្សែភាពយន្តនេះគឺដោយសារតែការបាត់បង់ថាមពល និងប្រតិកម្មគីមីដែលបណ្តាលមកពីការប៉ះទង្គិចដំណាក់កាលឧស្ម័នរវាងឧស្ម័នដែលនៅសេសសល់ និងអាតូម និងម៉ូលេគុលរបស់ខ្សែភាពយន្ត។ ប្រសិនបើកម្រិតខ្វះចន្លោះមានកម្រិតទាប ប្រូបាប៊ីលីតេនៃការលាយបញ្ចូលគ្នារវាងម៉ូលេគុលចំហាយនៃសម្ភារៈខ្សែភាពយន្ត និងម៉ូលេគុលឧស្ម័នដែលនៅសល់កើនឡើង ហើយថាមពល kinetic នៃម៉ូលេគុលចំហាយត្រូវបានកាត់បន្ថយយ៉ាងខ្លាំង ដែលធ្វើឲ្យម៉ូលេគុលចំហាយមិនអាចទៅដល់ស្រទាប់ខាងក្រោម ឬមិនអាចបំបែកតាមរយៈស្រទាប់ស្រូបយកឧស្ម័ននៅលើស្រទាប់ខាងក្រោម ឬថាមពលបំបែកដោយសារធាតុ adsorp ទទេ។ ស្រទាប់ខាងក្រោមគឺតូចណាស់។ ជាលទ្ធផល ខ្សែភាពយន្តដែលដាក់ដោយឧបករណ៍ស្តើងអុបទិកគឺរលុង ដង់ស៊ីតេប្រមូលផ្តុំទាប កម្លាំងមេកានិចខ្សោយ សមាសធាតុគីមីមិនបរិសុទ្ធ ហើយសន្ទស្សន៍ចំណាំងបែរនិងភាពរឹងនៃស្រទាប់ហ្វីលគឺអន់។
ជាទូទៅជាមួយនឹងការកើនឡើងនៃការខ្វះចន្លោះរចនាសម្ព័ន្ធនៃខ្សែភាពយន្តត្រូវបានធ្វើឱ្យប្រសើរឡើងសមាសធាតុគីមីក្លាយជាសុទ្ធប៉ុន្តែភាពតានតឹងកើនឡើង។ ភាពបរិសុទ្ធនៃខ្សែភាពយន្តលោហៈ និងខ្សែភាពយន្ត semiconductor កាន់តែខ្ពស់ វាកាន់តែល្អ ពួកវាអាស្រ័យលើកម្រិតនៃការខ្វះចន្លោះ ដែលទាមទារការចាត់ទុកជាមោឃៈដោយផ្ទាល់ខ្ពស់ជាង។ លក្ខណៈសម្បត្តិសំខាន់នៃខ្សែភាពយន្តដែលរងផលប៉ះពាល់ដោយកម្រិតខ្វះចន្លោះគឺសន្ទស្សន៍ចំណាំងបែរ ការខ្ចាត់ខ្ចាយ កម្លាំងមេកានិច និងភាពមិនរលាយ។
2. ឥទ្ធិពលនៃអត្រាប្រាក់បញ្ញើ
អត្រានៃការដាក់ប្រាក់គឺជាប៉ារ៉ាម៉ែត្រដំណើរការដែលពិពណ៌នាអំពីល្បឿននៃការបោះចោលនៃខ្សែភាពយន្ត ដែលបង្ហាញដោយកម្រាស់នៃខ្សែភាពយន្តដែលបង្កើតឡើងនៅលើផ្ទៃនៃបន្ទះនៅក្នុងពេលវេលាឯកតា ហើយឯកតាគឺ nm·s-1 ។
អត្រានៃការដាក់ប្រាក់មានឥទ្ធិពលជាក់ស្តែងលើសន្ទស្សន៍ចំណាំងបែរ ភាពរឹងមាំ កម្លាំងមេកានិច ការស្អិតជាប់ និងភាពតានតឹងនៃខ្សែភាពយន្ត។ ប្រសិនបើអត្រានៃការបន្ទោរបង់មានកម្រិតទាប ភាគច្រើននៃម៉ូលេគុលចំហាយត្រឡប់ពីស្រទាប់ខាងក្រោម ការបង្កើតស្នូលគ្រីស្តាល់មានភាពយឺតយ៉ាវ ហើយការប្រមូលផ្តុំអាចត្រូវបានអនុវត្តតែលើការប្រមូលផ្តុំធំប៉ុណ្ណោះ ដូច្នេះហើយទើបធ្វើឱ្យរចនាសម្ព័ន្ធនៃខ្សែភាពយន្តរលុង។ ជាមួយនឹងការកើនឡើងនៃអត្រានៃការដាក់ប្រាក់ ខ្សែភាពយន្តដ៏ល្អ និងក្រាស់នឹងត្រូវបានបង្កើតឡើង ការខ្ចាត់ខ្ចាយពន្លឺនឹងថយចុះ ហើយភាពរឹងមាំនឹងកើនឡើង។ ដូច្នេះ របៀបជ្រើសរើសអត្រានៃការបន្ទោរបង់ខ្សែភាពយន្តឱ្យបានត្រឹមត្រូវ គឺជាបញ្ហាសំខាន់ក្នុងដំណើរការហួត ហើយការជ្រើសរើសជាក់លាក់គួរតែត្រូវបានកំណត់ទៅតាមសម្ភារៈនៃខ្សែភាពយន្ត។
មានវិធីពីរយ៉ាងដើម្បីកែលម្អអត្រានៃការបន្ទោរបង់៖ (1) វិធីសាស្ត្រសីតុណ្ហភាពប្រភពហួតកើនឡើង (2) វិធីសាស្ត្រតំបន់ប្រភពហួតកើនឡើង។
ពេលវេលាបង្ហោះ៖ ថ្ងៃទី ២៩ ខែមីនា ឆ្នាំ ២០២៤