Вакуумдық жабын жүйесі - бұл вакуумдық ортада бетке жұқа пленка немесе жабынды жағу үшін қолданылатын технология. Бұл процесс электроника, оптика, автомобиль жасау және аэроғарыш өнеркәсібі сияқты әртүрлі салаларда маңызды болып табылатын жоғары сапалы, біркелкі және берік жабынды қамтамасыз етеді. Вакуумдық жабын жүйелерінің әртүрлі түрлері бар, олардың әрқайсысы белгілі бір қолданбаларға сәйкес келеді. Міне, бірнеше негізгі түрлері:
Физикалық будың тұндыру (PVD): Бұл процесс материалды қатты немесе сұйық көзден субстратқа физикалық тасымалдауды қамтиды. Жалпы әдістерге мыналар жатады:
Шашырату: материал нысанадан шығарылады және субстратқа қойылады.
Булану: материал буланғанша қызады, содан кейін субстратта конденсацияланады.
Химиялық будың тұндыру (CVD): Бұл процесс бу фазасының прекурсоры мен субстрат беті арасындағы химиялық реакцияны қамтиды, қатты қабықша түзеді. Варианттарға мыналар жатады:
Plasma-Enhanced CVD (PECVD): Химиялық реакцияларды күшейту үшін плазманы пайдаланады.
Металл-органикалық CVD (MOCVD): прекурсорлар ретінде металл-органикалық қосылыстарды пайдаланады.
Atomic Layer Deposition (ALD): Атом қабаттарын бір-бірлеп орналастыратын, дәл қалыңдығы мен құрамын қамтамасыз ететін жоғары бақыланатын процесс.
Магнетронды шашырату: плазманы шектеу үшін магнит өрістері қолданылатын, шашырату процесінің тиімділігін арттыратын PVD түрі.
Иондық сәулені тұндыру: нысанадан материалды шашырату және оны субстратқа қою үшін иондық сәулелерді пайдаланады.
Қолданбалар:
Жартылай өткізгіштер: микрочиптер мен электронды компоненттерге арналған жабындар.
Оптика: шағылыстырмайтын жабындар, айналар және линзалар.
Автокөлік: қозғалтқыш компоненттеріне және сәндік әрлеуге арналған жабындар.
Аэроғарыштық: термиялық тосқауыл жабындары және қорғаныс қабаттары.
Артықшылықтары:
Біркелкі жабындар: субстрат бойынша тұрақты қалыңдық пен композицияға қол жеткізеді.
Жоғары адгезия: жабындар субстратқа жақсы жабысып, беріктігін арттырады.
Тазалық және сапа: вакуумдық орта ластануды азайтады, нәтижесінде жоғары таза жабындар пайда болады.
– Бұл мақаланы шығарғанвакуумды қаптау машинасының өндірушісіГуандун Чжэнхуа
Жіберу уақыты: 09 шілде 2024 ж