Оптикалық жұқа пленка құрылғыларын жасау вакуумдық камерада жүзеге асырылады, ал пленка қабатының өсуі микроскопиялық процесс болып табылады. Дегенмен, қазіргі уақытта тікелей басқаруға болатын макроскопиялық процестер пленка қабатының сапасымен жанама байланысы бар кейбір макроскопиялық факторлар болып табылады. Осыған қарамастан, ұзақ мерзімді тұрақты эксперименттік зерттеулер арқылы адамдар пленка сапасы мен осы макро факторлар арасындағы тұрақты байланысты тапты, бұл фильм саяхат құрылғыларын өндіруге жетекшілік ететін процестің сипаттамасына айналды және жоғары сапалы оптикалық жұқа пленка құрылғыларын өндіруде маңызды рөл атқарады.
1. Вакуумды қаптаманың әсері
Вакуумдық дәреженің қабықшаның қасиеттеріне әсері қалдық газ бен пленка атомдары мен молекулалары арасындағы газ фазасының соқтығысуы нәтижесінде пайда болатын энергияның жоғалуы мен химиялық реакцияға байланысты. Егер вакуум дәрежесі төмен болса, пленкалық материалдың бу молекулалары мен қалған газ молекулалары арасындағы синтез ықтималдығы артады және бу молекулаларының кинетикалық энергиясы айтарлықтай төмендейді, бұл бу молекулаларын субстратқа жете алмайды немесе газ адсорбция қабатын бұза алмайды, бірақ субстраттағы газ адсорбциялық қабатын бұзады, бірақ адсорбция қабаты арқылы адсорбциялық қабат арқылы адсорбциялық қабат арқылы адсорбциялық энергияны бұзады. субстрат өте кішкентай. Нәтижесінде оптикалық жұқа пленка құрылғыларымен тұндырылған пленка борпылдақ, жинақтау тығыздығы төмен, механикалық беріктігі нашар, химиялық құрамы таза емес, қабықша қабатының сыну көрсеткіші мен қаттылығы нашар.
Жалпы, вакуумның жоғарылауымен пленка құрылымы жақсарады, химиялық құрамы таза болады, бірақ кернеу жоғарылайды. Металл пленка мен жартылай өткізгіш пленканың тазалығы неғұрлым жоғары болса, соғұрлым жақсы, олар вакуум дәрежесіне байланысты, ол жоғары тікелей бос орынды қажет етеді. Вакуумдық дәреже әсер ететін пленкалардың негізгі қасиеттері сыну көрсеткіші, шашырау, механикалық беріктік және ерімейтіндік болып табылады.
2. Тұндыру жылдамдығының әсері
Тұндыру жылдамдығы - уақыт бірлігінде қаптаманың бетінде пайда болған қабықшаның қалыңдығымен өрнектелетін қабықтың тұндыру жылдамдығын сипаттайтын процесс параметрі және бірлігі nm·s-1.
Тұндыру жылдамдығы пленканың сыну көрсеткішіне, қаттылығына, механикалық беріктігіне, адгезиясына және кернеуіне айқын әсер етеді. Егер тұндыру жылдамдығы төмен болса, бу молекулаларының көпшілігі субстраттан оралады, кристалдық ядролардың түзілуі баяу жүреді, ал конденсация тек үлкен агрегаттарда жүргізілуі мүмкін, осылайша пленка құрылымын бос етеді. Тұндыру жылдамдығының жоғарылауымен жұқа және тығыз қабықша пайда болады, жарықтың шашырауы азаяды және қаттылық артады. Сондықтан, қабықшаның тұндыру жылдамдығын қалай дұрыс таңдау керек, булану процесінде маңызды мәселе болып табылады және нақты таңдауды пленка материалына сәйкес анықтау керек.
Тұндыру жылдамдығын жақсартудың екі әдісі бар: (1) булану көзінің температурасын арттыру әдісі (2) булану көзінің ауданын арттыру әдісі.
Хабарлама уақыты: 29 наурыз 2024 ж