ვაკუუმური საფარის სისტემა არის ტექნოლოგია, რომელიც გამოიყენება თხელი ფენის ან საფარის ვაკუუმურ გარემოში ზედაპირზე დასატანად. ეს პროცესი უზრუნველყოფს მაღალი ხარისხის, ერთგვაროვან და გამძლე საფარს, რაც სასიცოცხლოდ მნიშვნელოვანია სხვადასხვა ინდუსტრიაში, როგორიცაა ელექტრონიკა, ოპტიკა, საავტომობილო და აერონავტიკა. არსებობს ვაკუუმური საფარის სისტემების სხვადასხვა ტიპი, რომელთაგან თითოეული შესაფერისია კონკრეტული გამოყენებისთვის. აქ მოცემულია რამდენიმე ძირითადი ტიპი:
ფიზიკური ორთქლის დეპონირება (PVD): ეს პროცესი გულისხმობს მასალის ფიზიკურ გადატანას მყარი ან თხევადი წყაროდან სუბსტრატზე. გავრცელებული მეთოდებია:
გაფრქვევა: მასალა გამოიტყორცნება სამიზნიდან და ილექება სუბსტრატზე.
აორთქლება: მასალა თბება აორთქლებამდე და შემდეგ კონდენსირდება სუბსტრატზე.
ქიმიური ორთქლის დეპონირება (CVD): ეს პროცესი გულისხმობს ქიმიურ რეაქციას ორთქლის ფაზის წინამორბედსა და სუბსტრატის ზედაპირს შორის, რაც მყარი აპკის წარმოქმნას იწვევს. ვარიანტები მოიცავს:
პლაზმით გაძლიერებული გსდ (PECVD): იყენებს პლაზმას ქიმიური რეაქციების გასაძლიერებლად.
მეტალ-ორგანული კარდიოვარგენული დიაგნოზი (MOCVD): იყენებს მეტალ-ორგანულ ნაერთებს, როგორც პრეკურსორებს.
ატომური ფენების დალექვა (ALD): მაღალკონტროლირებადი პროცესი, რომელიც ატომურ ფენებს ერთმანეთის მიყოლებით დებს, რაც უზრუნველყოფს ზუსტ სისქესა და შემადგენლობას.
მაგნიტრონული გაფრქვევა: პლაზმის გამოსახულების (PVD) ტიპი, სადაც მაგნიტური ველები გამოიყენება პლაზმის შესაზღუდად, რაც ზრდის გაფრქვევის პროცესის ეფექტურობას.
იონური სხივის დალექვა: იყენებს იონურ სხივებს სამიზნიდან მასალის გასაფრქვევად და სუბსტრატზე დასალექად.
აპლიკაციები:
ნახევარგამტარები: მიკროჩიპებისა და ელექტრონული კომპონენტების საფარი.
ოპტიკა: ანტირეფლექსური საფარი, სარკეები და ლინზები.
საავტომობილო: ძრავის კომპონენტების საფარი და დეკორატიული მოპირკეთება.
აერონავტიკა: თერმული ბარიერული საფარი და დამცავი ფენები.
უპირატესობები:
ერთგვაროვანი საფარი: უზრუნველყოფს თანმიმდევრულ სისქეს და შემადგენლობას მთელ სუბსტრატზე.
მაღალი ადჰეზია: საფარი კარგად ეკვრის სუბსტრატს, რაც ზრდის გამძლეობას.
სისუფთავე და ხარისხი: ვაკუუმური გარემო ამცირებს დაბინძურებას, რაც იწვევს მაღალი სისუფთავის საფარების მიღებას.
- ეს სტატია გამოქვეყნებულიავაკუუმური საფარის მანქანის მწარმოებელიგუანგდონგ ჟენხუა
გამოქვეყნების დრო: 2024 წლის 9 ივლისი