Pabrik piranti film tipis optik ditindakake ing ruang vakum, lan pertumbuhan lapisan film minangka proses mikroskopis. Nanging, saiki, proses makroskopik sing bisa dikontrol langsung yaiku sawetara faktor makroskopik sing nduweni hubungan ora langsung karo kualitas lapisan film. Sanajan mangkono, liwat riset eksperimen sing terus-terusan jangka panjang, wong wis nemokake hubungan biasa antarane kualitas film lan faktor makro kasebut, sing wis dadi spesifikasi proses kanggo nuntun manufaktur piranti perjalanan film, lan nduweni peran penting ing nggawe piranti film tipis optik sing berkualitas tinggi.
1. Efek saka vakum plating
Pengaruh derajat vakum ing sifat film amarga mundhut energi lan reaksi kimia sing disebabake tabrakan fase gas antarane gas residual lan atom lan molekul film. Yen jurusan vakum kurang, kemungkinan fusi antarane molekul uap saka materi film lan molekul gas isih mundhak, lan energi kinetik saka molekul beluk wis suda banget, nggawe molekul beluk ora bisa tekan landasan, utawa ora bisa break liwat lapisan adsorption gas ing landasan, utawa lagi wae bisa kanggo break liwat lapisan gas, nanging lagi wae adsorption energi saka substrat. cilik. Akibaté, film setor dening piranti film tipis optik ngeculke, Kapadhetan akumulasi kurang, kekuatan mechanical kurang, komposisi kimia ora murni, lan indeks bias lan atose lapisan film miskin.
Umumé, kanthi nambah vakum, struktur film wis apik, komposisi kimia dadi murni, nanging kaku mundhak. Sing luwih dhuwur kemurnian film logam lan film semikonduktor, luwih apik, padha gumantung ing tingkat vakum, sing mbutuhake kekosongan langsung sing luwih dhuwur. Sifat utama film sing kena pengaruh derajat vakum yaiku indeks bias, hamburan, kekuatan mekanik lan ora larut.
2. Pengaruh tingkat deposisi
Deposition rate punika parameter proses sing njlèntrèhaké kacepetan deposition saka film, ditulis dening kekandelan saka film kawangun ing lumahing plating ing unit wektu, lan unit punika nm · s-1.
Tingkat deposisi duwe pengaruh sing jelas ing indeks bias, firmness, kekuatan mekanik, adhesi lan stres film. Yen tingkat deposisi kurang, sebagian besar molekul uap bali saka substrat, pembentukan inti kristal alon, lan kondensasi mung bisa ditindakake ing agregat gedhe, saéngga nggawe struktur film kasebut longgar. Kanthi paningkatan tingkat deposisi, film sing apik lan padhet bakal dibentuk, panyebaran cahya bakal mudhun, lan kekuwatan bakal tambah. Mulane, carane milih tingkat deposisi film kanthi bener minangka masalah penting ing proses penguapan, lan pilihan tartamtu kudu ditemtokake miturut materi film.
Ana rong cara kanggo nambah tingkat deposisi: (1) nambah metode suhu sumber penguapan (2) metode area sumber penguapan.
Posting wektu: Mar-29-2024