プラズマ表面改質の特性

高エネルギープラズマはポリマー材料に照射され、分子鎖を切断し、活性基を形成し、表面エネルギーを増加させ、エッチングを引き起こす。プラズマ表面処理はバルク材料の内部構造や性能には影響を与えず、表面特性のみを大きく変化させる。

材料自体の特性を損なわないよう、プラズマ表面改質処理では通常、高出力密度のプラズマは使用しません。この処理と他のプラズマ処理との違いは以下のとおりです。

1) 処理対象表面にイオンや原子を注入しないでください（イオン注入など）。

2) より大きな材料を除去しないでください（スパッタリングやエッチングなど）。

3) 表面に数層（原子層）以上の材料を追加しないでください（蒸着など）。

つまり、プラズマ表面処理は、最も外側の数原子層のみに作用する。

プラズマ表面改質のプロセスパラメータは、主にガス圧、電界周波数、放電電力、作用時間などです。これらのプロセスパラメータは容易に調整できます。プラズマ改質プロセス中、多くの活性粒子が接触した処理対象表面と反応しやすく、材料表面の処理に利用できます。従来の方法と比較して、プラズマ表面改質は、プロセスが簡便、操作が簡単、低コスト、無公害、廃棄物ゼロ、安全な生産、高効率といった利点があります。