E mafai e le plasma malosi tele ona fa'aoso ma fa'asalalauina mea polymer, motusia ai a latou filifili molecular, fa'atupuina ni vaega toaga, fa'ateleina le malosi o luga, ma fa'atupuina ai le etching. O le togafitiga o luga o le plasma e le afaina ai le fausaga i totonu ma le fa'atinoga o le mea tele, ae na'o le suia tele o meatotino o luga.
Ina ia aua ne'i fa'aleagaina uiga o le meafaitino lava ia, o le togafitiga fa'asa'o o le plasma surface e masani ona le fa'aaogaina ai le plasma e maualuga atu le malosi o le eletise. O le eseesega i le va o lenei togafitiga ma isi togafitiga plasma o le:
1) Aua le tuiina ni ions po'o ni atoms i totonu o le mea ua togafitia (e pei o le fa'apipi'iina o le ion).
2) Aua le aveeseina ni mea tetele (e pei o le sputtering po o le etching).
3) Aua le fa'aopoopoina ni nai vaega ta'itasi (atomic) o mea i luga (e pei o le deposition).
I se aotelega, o le togafitiga o luga o le plasma e na'o ni nai vaega pito i fafo o le atomika e aofia ai.
O fa'asologa o le fa'agasologa mo le suia o le fogāeleele plasma e aofia ai le mamafa o le kesi, le tele o le eletise, le malosi o le fa'asa'olotoina, le taimi o le gaioiga, ma isi mea fa'apena. E faigofie ona fetu'una'i fa'asologa o le fa'agasologa. I le taimi o le fa'agasologa o le suia o le plasma, e tele vaega gaioi e faigofie ona tali atu i le fogāeleele ua togafitia pe a pa'i atu i ai, ma e mafai ona fa'aaogaina e togafitia ai le fogāeleele o meafaitino. Pe a fa'atusatusa i auala masani, o le suia o le fogāeleele plasma e iai ona lelei o le fa'agasologa faigofie, fa'agaioiga faigofie, tau maualalo, leai se fa'aleagaina, leai se otaota, saogalemu le gaosiga, ma le maualuga o le lelei.
Taimi na lafoina ai: Iuni-07-2023