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Eigenschaften der Plasmaoberflächenmodifikation

Quelle des Artikels:Zhenhua-Vakuum
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Veröffentlicht: 23.06.07

Hochenergetisches Plasma kann Polymermaterialien bombardieren und bestrahlen, ihre Molekülketten aufbrechen, aktive Gruppen bilden, die Oberflächenenergie erhöhen und Ätzungen erzeugen.Die Plasma-Oberflächenbehandlung hat keinen Einfluss auf die innere Struktur und Leistung des Schüttguts, sondern verändert lediglich die Oberflächeneigenschaften erheblich.

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Um die Eigenschaften des Materials selbst nicht zu beeinträchtigen, wird bei der Plasmaoberflächenmodifikationsbehandlung normalerweise kein Plasma mit höherer Leistungsdichte verwendet.Der Unterschied zwischen dieser Behandlung und anderen Plasmabehandlungen ist:

1) Injizieren Sie keine Ionen oder Atome in die behandelte Oberfläche (z. B. durch Ionenimplantation).

2) Entfernen Sie keine größeren Materialien (z. B. durch Sputtern oder Ätzen).

3) Fügen Sie der Oberfläche nicht mehr als ein paar einzelne (atomare) Materialschichten hinzu (z. B. durch Ablagerung).

Kurz gesagt betrifft die Plasmaoberflächenbehandlung nur die wenigen äußersten Atomschichten.

Zu den Prozessparametern für die Plasmaoberflächenmodifikation gehören hauptsächlich Gasdruck, elektrische Feldfrequenz, Entladungsleistung, Einwirkzeit usw. Die Prozessparameter sind einfach anzupassen.Während des Plasmamodifizierungsprozesses neigen viele aktive Partikel dazu, mit der behandelten Oberfläche, mit der sie in Kontakt kommen, zu reagieren und können zur Behandlung der Materialoberfläche verwendet werden.Im Vergleich zu herkömmlichen Methoden bietet die Plasmaoberflächenmodifikation die Vorteile eines einfachen Prozesses, einer einfachen Bedienung, niedriger Kosten, umweltfreundlicher, abfallfreier, sicherer Produktion und hoher Effizienz.


Zeitpunkt der Veröffentlichung: 07.06.2023