Hoogenergetisch plasma kan polymere materialen bombarderen en bestralen, waardoor hun moleculaire ketens worden verbroken, actieve groepen worden gevormd, de oppervlakte-energie toeneemt en etsing optreedt. Plasma-oppervlaktebehandeling heeft geen invloed op de interne structuur en eigenschappen van het basismateriaal, maar verandert alleen de oppervlakte-eigenschappen aanzienlijk.
Om de eigenschappen van het materiaal zelf niet aan te tasten, wordt bij plasmabehandeling van het oppervlak doorgaans geen plasma met een hoge vermogensdichtheid gebruikt. Het verschil tussen deze behandeling en andere plasmabehandelingen is:
1) Injecteer geen ionen of atomen in het behandelde oppervlak (zoals bij ionenimplantatie).
2) Verwijder geen grotere materiaaldeeltjes (zoals bij sputteren of etsen).
3) Voeg niet meer dan een paar afzonderlijke (atomaire) lagen materiaal toe aan het oppervlak (zoals door middel van depositie).
Kort gezegd, bij plasmabehandeling van het oppervlak worden alleen de buitenste paar atoomlagen aangetast.
De procesparameters voor plasma-oppervlaktemodificatie omvatten hoofdzakelijk gasdruk, elektrische veldfrequentie, ontladingsvermogen, inwerktijd, enzovoort. Deze procesparameters zijn eenvoudig aan te passen. Tijdens het plasma-modificatieproces reageren veel actieve deeltjes met het te behandelen oppervlak waarmee ze in contact komen en kunnen ze worden gebruikt om het materiaaloppervlak te behandelen. Vergeleken met traditionele methoden heeft plasma-oppervlaktemodificatie de voordelen van een eenvoudig proces, eenvoudige bediening, lage kosten, milieuvriendelijkheid, afvalvrij, veilige productie en een hoge efficiëntie.
Geplaatst op: 7 juni 2023