plasma ພະລັງງານສູງສາມາດລະເບີດແລະ irradiate ວັດສະດຸໂພລີເມີ, ທໍາລາຍລະບົບຕ່ອງໂສ້ໂມເລກຸນຂອງເຂົາເຈົ້າ, ປະກອບເປັນກຸ່ມທີ່ມີການເຄື່ອນໄຫວ, ເພີ່ມທະວີການພະລັງງານຂອງພື້ນຜິວ, ແລະສ້າງ etching.ການປິ່ນປົວພື້ນຜິວ plasma ບໍ່ມີຜົນກະທົບຕໍ່ໂຄງສ້າງພາຍໃນແລະການປະຕິບັດຂອງວັດສະດຸສ່ວນໃຫຍ່, ແຕ່ວ່າພຽງແຕ່ມີການປ່ຽນແປງຄຸນສົມບັດຂອງພື້ນຜິວຢ່າງຫຼວງຫຼາຍ.
ເພື່ອບໍ່ທໍາລາຍຄຸນລັກສະນະຂອງວັດສະດຸຂອງມັນເອງ, ການປິ່ນປົວການດັດແປງພື້ນຜິວ plasma ປົກກະຕິແລ້ວບໍ່ໄດ້ໃຊ້ plasma ທີ່ມີຄວາມຫນາແຫນ້ນຂອງພະລັງງານສູງກວ່າ.ຄວາມແຕກຕ່າງລະຫວ່າງການປິ່ນປົວນີ້ແລະການປິ່ນປົວ plasma ອື່ນໆແມ່ນ:
1) ຢ່າສີດ ion ຫຼືປະລໍາມະນູເຂົ້າໄປໃນພື້ນຜິວທີ່ໄດ້ຮັບການປິ່ນປົວ (ເຊັ່ນ: implantation ion).
2) ຢ່າເອົາວັດສະດຸທີ່ໃຫຍ່ກວ່າ (ເຊັ່ນ: sputtering ຫຼື etching).
3) ຫ້າມເພີ່ມຊັ້ນວັດສະດຸດຽວ (ປະລໍາມະນູ) ຫຼາຍກວ່າສອງສາມຊັ້ນໃສ່ພື້ນຜິວ (ເຊັ່ນ: ການຊຶມເຊື້ອ).
ໃນສັ້ນ, ການປິ່ນປົວພື້ນຜິວ plasma ພຽງແຕ່ກ່ຽວຂ້ອງກັບຊັ້ນປະລໍາມະນູຈໍານວນຫນ້ອຍທີ່ສຸດ.
ຕົວກໍານົດການຂະບວນການສໍາລັບການດັດແກ້ພື້ນຜິວ plasma ສ່ວນໃຫຍ່ແມ່ນປະກອບດ້ວຍຄວາມກົດດັນອາຍແກັສ, ຄວາມຖີ່ຂອງພາກສະຫນາມໄຟຟ້າ, ພະລັງງານການໄຫຼ, ເວລາປະຕິບັດງານ, ແລະອື່ນໆຕົວກໍານົດການຂະບວນການແມ່ນງ່າຍທີ່ຈະປັບ.ໃນລະຫວ່າງຂະບວນການດັດແປງ plasma, ອະນຸພາກທີ່ຫ້າວຫັນຫຼາຍມັກຈະປະຕິກິລິຍາກັບພື້ນຜິວທີ່ໄດ້ຮັບການປິ່ນປົວທີ່ພວກມັນຕິດຕໍ່ກັບ, ແລະສາມາດຖືກນໍາໃຊ້ເພື່ອປິ່ນປົວພື້ນຜິວ.ເມື່ອປຽບທຽບກັບວິທີການແບບດັ້ງເດີມ, ການດັດແປງພື້ນຜິວ plasma ມີຂໍ້ດີຂອງຂະບວນການງ່າຍດາຍ, ການດໍາເນີນງານງ່າຍດາຍ, ຄ່າໃຊ້ຈ່າຍຕ່ໍາ, ບໍ່ມີມົນລະພິດ, ບໍ່ມີສິ່ງເສດເຫຼືອ, ການຜະລິດທີ່ປອດໄພ, ແລະປະສິດທິພາບສູງ.
ເວລາປະກາດ: 07-07-2023