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플라즈마 표면 개질의 특성

기사 출처:Zhenhua 진공
읽기:10
게시됨:23-06-07

고에너지 플라즈마는 폴리머 재료에 충격을 가하고 조사하여 분자 사슬을 끊고 활성 그룹을 형성하며 표면 에너지를 증가시키고 에칭을 생성할 수 있습니다.플라즈마 표면 처리는 벌크 재료의 내부 구조 및 성능에 영향을 미치지 않고 표면 특성만 크게 변경합니다.

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재료 자체의 특성을 손상시키지 않기 위해 플라즈마 표면 개질 처리는 일반적으로 전력 밀도가 높은 플라즈마를 사용하지 않습니다.이 치료와 다른 플라즈마 치료의 차이점은 다음과 같습니다.

1) 처리된 표면에 이온이나 원자를 주입(이온 주입 등)하지 마십시오.

2) 더 큰 재료(예: 스퍼터링 또는 에칭)를 제거하지 마십시오.

3) 표면에 재료의 단일(원자) 레이어를 몇 개 이상 추가하지 마십시오(예: 증착).

즉, 플라즈마 표면 처리는 가장 바깥쪽에 있는 몇 개의 원자층만 포함합니다.

플라즈마 표면 수정을 위한 공정 매개변수에는 주로 가스 압력, 전기장 주파수, 방전 전력, 작동 시간 등이 포함됩니다. 공정 매개변수는 조정하기 쉽습니다.플라즈마 개질 프로세스 동안 많은 활성 입자는 접촉하는 처리된 표면과 반응하기 쉽고 재료 표면을 처리하는 데 사용할 수 있습니다.전통적인 방법과 비교하여 플라즈마 표면 개질은 공정이 간단하고 조작이 간단하며 비용이 저렴하고 무공해, 폐기물이 없고 안전한 생산 및 고효율이라는 장점이 있습니다.


게시 시간: 2023년 6월 7일