Высокоэнергетическая плазма может бомбардировать и облучать полимерные материалы, разрывая их молекулярные цепи, образуя активные группы, увеличивая поверхностную энергию и вызывая травление. Плазменная обработка поверхности не влияет на внутреннюю структуру и характеристики основного материала, а лишь существенно изменяет его поверхностные свойства.
Чтобы не повредить свойства самого материала, при плазменной обработке поверхности обычно не используется плазма с высокой плотностью мощности. Отличие этого метода от других видов плазменной обработки заключается в следующем:
1) Не следует вводить ионы или атомы в обрабатываемую поверхность (например, методом ионной имплантации).
2) Не удаляйте крупные частицы материала (например, следы распыления или травления).
3) Не следует наносить на поверхность более нескольких отдельных (атомных) слоев материала (например, методом осаждения).
Вкратце, плазменная обработка поверхности затрагивает лишь несколько самых внешних атомных слоев.
Параметры процесса плазменной модификации поверхности в основном включают давление газа, частоту электрического поля, мощность разряда, время воздействия и т. д. Параметры процесса легко регулируются. В процессе плазменной модификации множество активных частиц вступают в реакцию с обрабатываемой поверхностью, с которой они контактируют, и могут быть использованы для обработки поверхности материала. По сравнению с традиционными методами, плазменная модификация поверхности имеет преимущества простоты процесса, простоты эксплуатации, низкой стоимости, экологичности, отсутствия отходов, безопасности производства и высокой эффективности.
Дата публикации: 07.06.2023