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Caractéristiques de la modification de surface par plasma

Source de l'article : Zhenhua Vacuum
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Publié le : 23-06-07

Le plasma à haute énergie peut bombarder et irradier les matériaux polymères, rompant leurs chaînes moléculaires, formant des groupements actifs, augmentant l'énergie de surface et générant une gravure. Le traitement de surface par plasma n'affecte pas la structure interne ni les performances du matériau, mais modifie significativement ses propriétés de surface.

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Afin de ne pas altérer les propriétés intrinsèques du matériau, le traitement de modification de surface par plasma n'utilise généralement pas de plasma à haute densité de puissance. La différence entre ce traitement et les autres traitements plasma réside dans :

1) Ne pas injecter d’ions ou d’atomes dans la surface traitée (comme l’implantation ionique).

2) Ne retirez pas de matériaux plus gros (tels que la pulvérisation cathodique ou la gravure).

3) Ne pas ajouter plus de quelques couches (atomiques) de matériau à la surface (comme le dépôt).

En résumé, le traitement de surface par plasma ne concerne que les quelques couches atomiques les plus externes.

Les paramètres du procédé de modification de surface par plasma comprennent principalement la pression du gaz, la fréquence du champ électrique, la puissance de décharge et la durée d'action. Ces paramètres sont facilement ajustables. Lors du traitement par plasma, de nombreuses particules actives réagissent avec la surface à traiter et permettent ainsi de modifier la surface du matériau. Comparée aux méthodes traditionnelles, la modification de surface par plasma présente de nombreux avantages : simplicité du procédé et de la mise en œuvre, faible coût, absence de pollution et de déchets, sécurité de production et rendement élevé.


Date de publication : 7 juin 2023