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Caratteristiche della modifica superficiale al plasma

Fonte dell'articolo: Zhenhua Vacuum
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Pubblicato: 23-06-07

Il plasma ad alta energia può bombardare e irradiare i materiali polimerici, rompendone le catene molecolari, formando gruppi attivi, aumentando l'energia superficiale e generando processi di incisione. Il trattamento superficiale al plasma non altera la struttura interna e le prestazioni del materiale di base, ma ne modifica significativamente solo le proprietà superficiali.

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Per non danneggiare le caratteristiche del materiale stesso, il trattamento di modifica superficiale al plasma di solito non utilizza plasma ad alta densità di potenza. La differenza tra questo trattamento e altri trattamenti al plasma è:

1) Non iniettare ioni o atomi nella superficie trattata (ad esempio tramite impiantazione ionica).

2) Non rimuovere materiali di grandi dimensioni (come ad esempio residui di sputtering o incisione).

3) Non aggiungere più di pochi strati singoli (atomici) di materiale alla superficie (ad esempio tramite deposizione).

In breve, il trattamento superficiale al plasma coinvolge solo i pochi strati atomici più esterni.

I parametri di processo per la modifica superficiale al plasma includono principalmente la pressione del gas, la frequenza del campo elettrico, la potenza di scarica, il tempo di azione, ecc. I parametri di processo sono facili da regolare. Durante il processo di modifica al plasma, molte particelle attive tendono a reagire con la superficie trattata con cui entrano in contatto e possono essere utilizzate per trattare la superficie del materiale. Rispetto ai metodi tradizionali, la modifica superficiale al plasma presenta i vantaggi di un processo semplice, un funzionamento semplice, costi contenuti, assenza di inquinamento, zero rifiuti, produzione sicura ed elevata efficienza.


Data di pubblicazione: 7 giugno 2023