Plasma agbara giga le bomi ati tan ina si awọn ohun elo polima, fifọ awọn ẹwọn molikula wọn, ṣiṣẹda awọn ẹgbẹ ti nṣiṣe lọwọ, mu agbara oju ilẹ pọ si, ati ṣiṣẹda etching. Itọju dada pilasima ko ni ipa lori eto inu ati iṣẹ ti ohun elo pupọ, ṣugbọn o kan yi awọn abuda dada pada ni pataki.
Láti má ba àwọn ànímọ́ ohun èlò náà jẹ́, ìtọ́jú àtúnṣe ojú ilẹ̀ plasma kìí sábà lo plasma pẹ̀lú agbára gíga. Ìyàtọ̀ láàárín ìtọ́jú yìí àti àwọn ìtọ́jú plasma mìíràn ni:
1) Má ṣe fi àwọn ion tàbí átọ̀mù sínú ojú ilẹ̀ tí a tọ́jú (bíi ìfilọ́lẹ̀ ion).
2) Má ṣe yọ àwọn ohun èlò tó tóbi jù (bí ìfọ́nká tàbí ìfọ́nká).
3) Má ṣe fi àwọn ohun èlò tó ju díẹ̀ (tó jẹ́ átọ́míìkì) sí ojú ilẹ̀ (bíi ìpamọ́).
Ni kukuru, itọju dada plasma nikan kan pẹlu awọn fẹlẹfẹlẹ atomiki diẹ ti ita julọ.
Àwọn ìlànà ìlànà fún àtúnṣe ojú ilẹ̀ plasma ní pàtàkì pẹ̀lú ìfúnpá gaasi, ìgbóná agbára iná mànàmáná, agbára ìtújáde, àkókò ìgbésẹ̀, àti bẹ́ẹ̀ bẹ́ẹ̀ lọ. Àwọn ìlànà ìlànà náà rọrùn láti ṣàtúnṣe. Nígbà ìlànà àtúnṣe plasma, ọ̀pọ̀lọpọ̀ àwọn èròjà tí ń ṣiṣẹ́ ní ìtẹ̀sí láti ṣe àtúnṣe pẹ̀lú ojú ilẹ̀ tí a tọ́jú tí wọ́n bá fara kan, a sì lè lò wọ́n láti tọ́jú ojú ilẹ̀ náà. Ní ìfiwéra pẹ̀lú àwọn ọ̀nà ìbílẹ̀, àtúnṣe ojú ilẹ̀ plasma ní àwọn àǹfààní ti ìlànà tí ó rọrùn, iṣẹ́ tí ó rọrùn, owó tí ó rọrùn, tí kò ní ìbàjẹ́, tí kò ní ìdọ̀tí, tí ó ní ààbò, àti iṣẹ́ tí ó ga.
Àkókò ìfìwéránṣẹ́: Oṣù Kẹfà-07-2023