プラズマ表面改質の特徴

高エネルギープラズマはポリマー材料に衝撃を与え、照射することで分子鎖を切断し、活性基を形成し、表面エネルギーを増加させ、エッチング効果を生み出します。プラズマ表面処理は、バルク材料の内部構造や性能に影響を与えることなく、表面特性のみを大きく変化させます。

プラズマ表面改質処理では、材料自体の特性を損なわないよう、通常、高出力密度のプラズマは使用しません。この処理と他のプラズマ処理との違いは以下のとおりです。

1) 処理表面にイオンや原子を注入しないでください（イオン注入など）。

2) 大きな材料（スパッタリングやエッチングなど）は除去しないでください。

3) 表面に数層以上の単一（原子）層の材料を追加しないでください（堆積など）。

つまり、プラズマ表面処理は最外層のいくつかの原子層のみを対象とします。

プラズマ表面改質のプロセスパラメータは、主にガス圧、電界周波数、放電電力、作用時間などであり、これらのプロセスパラメータは調整が容易です。プラズマ改質プロセス中、多くの活性粒子が接触する処理表面と反応しやすく、材料表面の処理に利用されます。従来の方法と比較して、プラズマ表面改質は、プロセス、操作が簡単で、コストが低く、汚染がなく、廃棄物がなく、安全な生産、高効率などの利点があります。