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CFM1916

両開きマグネトロン光学コーティング装置

ローラータイプ+オス回転ワークピースホルダーの設計

携帯電話業界向け

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製品説明

携帯電話業界の需要が急速に伸びる中、従来の光学コーティング装置の積載能力ではこの需要を満たすことができません。ZHENHUAは、この需要に応えるため、マグネトロンスパッタリング光学コーティング装置を発売しました。

（1）ワークラックは円筒形設計を採用し、コーティング面積が広く、製品の積載容量は同仕様の電子ビーム蒸着装置の2倍です。ワークラックは回転・自転構造を採用しており、様々な形状のワークに適応でき、より幅広い用途に対応します。
（2）中周波マグネトロン円筒ターゲットスパッタリングシステムとイオン源補助システムを用いることで、コーティング膜は緻密で、屈折率が高く安定しており、密着性も強く、水蒸気分子を吸着しにくい。様々な環境下においても、従来の電子ビーム蒸着装置で成膜した膜よりも安定した光学性能を維持する。
（3）結晶制御モニタリングシステムを搭載し、膜厚を正確に制御することで、高い安定性と優れた再現性を実現します。SPEEDFLO閉ループ自動制御システムは、SiO2の堆積速度を効果的に向上させます。
（4）サーモスタット固定具の設計は製品温度を効果的に制御することができ、極薄PETおよびPC製品に適応することができます。

この装置は、TiO2、SiO2、Nb2O5、In、Ag、Crなどの材料を堆積するために使用でき、さまざまな光学カラーフィルム、ARフィルム、分光フィルムなどを実現できます。PETフィルム/複合板、携帯電話のカバーガラス、携帯電話のミドルフレーム、3C電子製品、サングラス、香水瓶、クリスタルなどの製品に広く使用されています。