מבוא למערכת ציפוי ואקום

מערכת ציפוי בוואקום היא טכנולוגיה המשמשת למריחת שכבה דקה או ציפוי על משטח בסביבת ואקום. תהליך זה מבטיח ציפוי איכותי, אחיד ועמיד, שהוא חיוני בתעשיות שונות כגון אלקטרוניקה, אופטיקה, רכב ותעופה וחלל. ישנם סוגים שונים של מערכות ציפוי בוואקום, כל אחת מתאימה ליישומים ספציפיים. להלן מספר סוגים עיקריים:
שקיעת אדים פיזיקלית (PVD): תהליך זה כולל העברה פיזית של חומר ממקור מוצק או נוזלי למצע. שיטות נפוצות כוללות:

התזה: חומר נפלט מהמטרה ומופקד על המצע.
אידוי: החומר מחומם עד שהוא מתאדה ולאחר מכן מתעבה על המצע.
שקיעת אדים כימית (CVD): תהליך זה כולל תגובה כימית בין חומר קיטורי לבין פני השטח של המצע, ויוצר שכבה מוצקה. בין הווריאציות:

CVD משופר בפלזמה (PECVD): משתמש בפלזמה כדי לשפר תגובות כימיות.
CVD מתכת-אורגני (MOCVD): משתמש בתרכובות מתכת-אורגניות כקודמנים.
שקיעת שכבות אטומיות (ALD): תהליך מבוקר מאוד המשקיע שכבות אטומיות אחת בכל פעם, ומבטיח עובי והרכב מדויקים.

התזה מגנטרונית: סוג של PVD שבו משתמשים בשדות מגנטיים כדי להגביל את הפלזמה, ובכך להגביר את יעילות תהליך ההתזה.

שקיעת אלומת יונים: משתמשת באלומות יונים כדי להפיץ חומר ממטרה ולהפקיד אותו על המצע.

יישומים:

מוליכים למחצה: ציפויים לשבבים ורכיבים אלקטרוניים.
אופטיקה: ציפויים נגד השתקפות, מראות ועדשות.
רכב: ציפויים לרכיבי מנוע וגימורים דקורטיביים.
תעופה וחלל: ציפויי מחסום תרמי ושכבות מגן.
יתרונות:

ציפויים אחידים: משיגים עובי והרכב אחידים על פני כל המצע.
הידבקות גבוהה: ציפויים נצמדים היטב למצע, ומשפרים את העמידות.
טוהר ואיכות: סביבת ואקום מפחיתה זיהום, וכתוצאה מכך נוצרים ציפויים בעלי טוהר גבוה.

–מאמר זה פורסם על ידייצרן מכונות ציפוי ואקוםגואנגדונג ז'נהואה