Sistem pelapisan vakum adalah teknologi yang digunakan untuk mengaplikasikan lapisan tipis atau pelapis pada permukaan dalam lingkungan vakum. Proses ini memastikan pelapisan berkualitas tinggi, seragam, dan tahan lama, yang sangat penting dalam berbagai industri seperti elektronik, optik, otomotif, dan kedirgantaraan. Ada berbagai jenis sistem pelapisan vakum, masing-masing cocok untuk aplikasi tertentu. Berikut adalah beberapa jenis utama:
Physical Vapor Deposition (PVD): Proses ini melibatkan pemindahan material secara fisik dari sumber padat atau cair ke substrat. Metode yang umum meliputi:
Sputtering: Material dikeluarkan dari target dan diendapkan pada substrat.
Penguapan: Bahan dipanaskan hingga menguap lalu mengembun pada substrat.
Chemical Vapor Deposition (CVD): Proses ini melibatkan reaksi kimia antara prekursor fase uap dan permukaan substrat, yang membentuk lapisan padat. Variannya meliputi:
Plasma-Enhanced CVD (PECVD): Menggunakan plasma untuk meningkatkan reaksi kimia.
CVD Logam-Organik (MOCVD): Menggunakan senyawa logam-organik sebagai prekursor.
Atomic Layer Deposition (ALD): Proses yang sangat terkontrol yang menyimpan lapisan atom satu per satu, memastikan ketebalan dan komposisi yang tepat.
Magnetron Sputtering: Jenis PVD di mana medan magnet digunakan untuk membatasi plasma, sehingga meningkatkan efisiensi proses sputtering.
Deposisi Berkas Ion: Menggunakan berkas ion untuk menyemprotkan material dari target dan mendepositkannya ke substrat.
Aplikasi:
Semikonduktor: Pelapis untuk microchip dan komponen elektronik.
Optik: Lapisan anti-pantulan, cermin, dan lensa.
Otomotif: Pelapis untuk komponen mesin dan pelapis dekoratif.
Dirgantara: Pelapis penghalang termal dan lapisan pelindung.
Manfaat:
Pelapisan Seragam: Mencapai ketebalan dan komposisi yang konsisten di seluruh substrat.
Daya Rekat Tinggi: Pelapis melekat dengan baik pada substrat, meningkatkan daya tahan.
Kemurnian dan Kualitas: Lingkungan vakum mengurangi kontaminasi, menghasilkan lapisan dengan kemurnian tinggi.
–Artikel ini dirilis olehprodusen mesin pelapis vakumGuangdong Zhenhua
Waktu posting: 09-Jul-2024