Օպտիկական բարակ թաղանթային սարքերի արտադրությունը կատարվում է վակուումային խցիկում, և թաղանթային շերտի աճը մանրադիտակային գործընթաց է: Այնուամենայնիվ, ներկայումս մակրոսկոպիկ գործընթացները, որոնք կարող են անմիջականորեն վերահսկվել, որոշ մակրոսկոպիկ գործոններ են, որոնք անուղղակիորեն կապված են թաղանթային շերտի որակի հետ: Այնուամենայնիվ, երկարատև փորձարարական հետազոտությունների միջոցով մարդիկ հայտնաբերել են թաղանթի որակի և այս մակրոֆակտորների միջև կանոնավոր կապը, որը դարձել է թաղանթային շարժական սարքերի արտադրությունը ղեկավարող գործընթացի սպեցիֆիկացիա և կարևոր դեր է խաղում բարձրորակ օպտիկական բարակ թաղանթային սարքերի արտադրության մեջ:
1. Վակուումային ծածկույթի ազդեցությունը
Վակուումի աստիճանի ազդեցությունը թաղանթի հատկությունների վրա պայմանավորված է էներգիայի կորստով և քիմիական ռեակցիայով, որը առաջանում է մնացորդային գազի և թաղանթի ատոմների ու մոլեկուլների գազային փուլի բախման հետևանքով։ Եթե վակուումի աստիճանը ցածր է, թաղանթի նյութի գոլորշու մոլեկուլների և մնացած գազի մոլեկուլների միաձուլման հավանականությունը մեծանում է, և գոլորշու մոլեկուլների կինետիկ էներգիան զգալիորեն նվազում է, ինչի հետևանքով գոլորշու մոլեկուլները չեն կարողանում հասնել հիմքին, կամ չեն կարողանում ճեղքել հիմքի վրա գտնվող գազի ադսորբցիոն շերտը, կամ հազիվ են կարողանում ճեղքել գազի ադսորբցիոն շերտը, բայց հիմքի հետ ադսորբցիոն էներգիան շատ փոքր է։ Արդյունքում, օպտիկական բարակ թաղանթային սարքերով նստեցված թաղանթը թույլ է, կուտակման խտությունը ցածր է, մեխանիկական ամրությունը՝ վատ, քիմիական կազմը մաքուր չէ, իսկ թաղանթի շերտի բեկման ցուցիչը և կարծրությունը՝ վատ։
Ընդհանուր առմամբ, վակուումի մեծացման հետ մեկտեղ, թաղանթի կառուցվածքը բարելավվում է, քիմիական կազմը դառնում է մաքուր, սակայն լարումը մեծանում է: Որքան բարձր է մետաղական և կիսահաղորդչային թաղանթի մաքրությունը, այնքան լավ, դրանք կախված են վակուումի աստիճանից, ինչը պահանջում է ավելի բարձր ուղիղ դատարկություն: Թաղանթների հիմնական հատկությունները, որոնք ազդում են վակուումի աստիճանի վրա, բեկման ցուցիչն են, ցրումը, մեխանիկական ամրությունը և անլուծելիությունը:
2. Նստվածքի արագության ազդեցությունը
Նստեցման արագությունը պրոցեսի պարամետր է, որը նկարագրում է թաղանթի նստեցման արագությունը, որն արտահայտվում է ծածկույթի մակերեսին ձևավորված թաղանթի հաստությամբ ժամանակի միավորում, և միավորը նմ·վրկ-1 է։
Նստեցման արագությունը ակնհայտ ազդեցություն ունի թաղանթի բեկման ցուցիչի, կարծրության, մեխանիկական ամրության, կպչունության և լարվածության վրա: Եթե նստեցման արագությունը ցածր է, գոլորշու մոլեկուլների մեծ մասը վերադառնում է հիմքից, բյուրեղային միջուկների ձևավորումը դանդաղ է, և խտացումը կարող է իրականացվել միայն խոշոր ագրեգատների վրա, այդպիսով թաղանթի կառուցվածքը դարձնելով թույլ: Նստեցման արագության աճի հետ մեկտեղ կձևավորվի նուրբ և խիտ թաղանթ, լույսի ցրումը կնվազի, իսկ կարծրությունը կմեծանա: Հետևաբար, թաղանթի նստեցման արագության ճիշտ ընտրությունը կարևոր հարց է գոլորշիացման գործընթացում, և կոնկրետ ընտրությունը պետք է որոշվի թաղանթի նյութին համապատասխան:
Գոյություն ունեն նստվածքի արագությունը բարելավելու երկու մեթոդ՝ (1) գոլորշիացման աղբյուրի ջերմաստիճանի բարձրացման մեթոդ (2) գոլորշիացման աղբյուրի մակերեսի մեծացման մեթոդ։
Հրապարակման ժամանակը. Մարտի 29-2024