Yo fabrike aparèy fim mens optik yo nan yon chanm vakyòm, epi kwasans kouch fim nan se yon pwosesis mikwoskopik. Sepandan, kounye a, pwosesis makroskopik ki ka kontwole dirèkteman yo se kèk faktè makroskopik ki gen yon relasyon endirèk ak kalite kouch fim nan. Malgre sa, atravè rechèch eksperimantal ki dire lontan, moun yo te jwenn relasyon regilye ant kalite fim nan ak faktè makro sa yo, ki te vin tounen yon spesifikasyon pwosesis pou gide fabrikasyon aparèy vwayaj fim, epi ki jwe yon wòl enpòtan nan fabrikasyon aparèy fim mens optik ki gen kalite siperyè.
1. Efè plake vakyòm lan
Enfliyans degre vakyòm nan sou pwopriyete fim nan se akòz pèt enèji ak reyaksyon chimik ki koze pa kolizyon faz gaz ant gaz rezidyèl la ak atòm ak molekil fim nan. Si degre vakyòm nan ba, pwobabilite pou fizyon ant molekil vapè materyèl fim nan ak molekil gaz ki rete yo ogmante, epi enèji sinetik molekil vapè yo redwi anpil, sa ki fè molekil vapè yo pa kapab rive nan substra a, oubyen pa kapab kraze kouch adsorption gaz la sou substra a, oubyen apèn kapab kraze kouch adsorption gaz la men enèji adsorption an ak substra a trè piti. Kòm rezilta, fim ki depoze pa aparèy optik fim mens yo lach, dansite akimilasyon an ba, fòs mekanik la pòv, konpozisyon chimik la pa pi, epi endis refraksyon ak dite kouch fim nan pòv.
Anjeneral, avèk ogmantasyon vakyòm nan, estrikti fim nan amelyore, konpozisyon chimik la vin pi, men estrès la ogmante. Plis pite fim metal la ak fim semi-kondiktè a wo, se pi bon, yo depann de degre vakyòm nan, ki mande yon vid dirèk ki pi wo. Pwopriyete prensipal fim yo ki afekte pa degre vakyòm nan se endis refraksyon, dispèsyon, fòs mekanik ak ensolubilite.
2. Enfliyans to depo a
Vitès depozisyon an se yon paramèt pwosesis ki dekri vitès depozisyon fim nan, eksprime pa epesè fim ki fòme sou sifas plak la nan inite tan, epi inite a se nm·s-1.
Vitès depo a gen yon enfliyans evidan sou endèks refraksyon, fèmte, fòs mekanik, adezyon ak estrès fim nan. Si vitès depo a ba, pifò molekil vapè yo retounen soti nan substra a, fòmasyon nwayo kristal yo ralanti, epi kondansasyon an ka sèlman fèt sou gwo agregasyon, sa ki fè estrikti fim nan vin lach. Avèk ogmantasyon vitès depo a, yon fim amann ak dans ap fòme, difizyon limyè ap diminye, epi fèmte a ap ogmante. Se poutèt sa, kijan pou chwazi vitès depo fim nan byen se yon pwoblèm enpòtan nan pwosesis evaporasyon an, epi seleksyon espesifik la ta dwe detèmine selon materyèl fim nan.
Gen de metòd pou amelyore vitès depo a: (1) metòd ogmantasyon tanperati sous evaporasyon an (2) metòd ogmantasyon sifas sous evaporasyon an.
Dat piblikasyon: 29 mas 2024