Proizvodnja optičkih tankoslojnih uređaja provodi se u vakuumskoj komori, a rast sloja filma je mikroskopski proces. Međutim, trenutno se makroskopski procesi koji se mogu izravno kontrolirati odnose na neke makroskopske čimbenike koji imaju neizravan odnos s kvalitetom sloja filma. Unatoč tome, dugotrajnim i upornim eksperimentalnim istraživanjima, ljudi su pronašli pravilan odnos između kvalitete filma i tih makro čimbenika, što je postalo procesna specifikacija koja vodi proizvodnju uređaja za kretanje filma i igra važnu ulogu u proizvodnji visokokvalitetnih optičkih tankoslojnih uređaja.
1. Učinak vakuumskog nanošenja galvanizacije
Utjecaj stupnja vakuuma na svojstva filma posljedica je gubitka energije i kemijske reakcije uzrokovane sudarom plinovite faze između preostalog plina i atoma i molekula filma. Ako je stupanj vakuuma nizak, vjerojatnost fuzije između molekula pare materijala filma i preostalih molekula plina povećava se, a kinetička energija molekula pare znatno se smanjuje, što onemogućuje molekulama pare da dosegnu podlogu ili da probiju sloj adsorpcije plina na podlozi ili jedva da mogu probiti sloj adsorpcije plina, ali energija adsorpcije na podlozi je vrlo mala. Kao rezultat toga, film nanesen optičkim uređajima s tankim filmom je labav, gustoća akumulacije je niska, mehanička čvrstoća je slaba, kemijski sastav nije čist, a indeks loma i tvrdoća sloja filma su loši.
Općenito, s povećanjem vakuuma, struktura filma se poboljšava, kemijski sastav postaje čistiji, ali se naprezanje povećava. Što je veća čistoća metalnog filma i poluvodičkog filma, to bolje, oni ovise o stupnju vakuuma, što zahtijeva veću izravnu prazninu. Glavna svojstva filmova na koja utječe stupanj vakuuma su indeks loma, raspršenje, mehanička čvrstoća i netopljivost.
2. Utjecaj brzine taloženja
Brzina taloženja je procesni parametar koji opisuje brzinu taloženja filma, izraženu debljinom filma formiranog na površini prevlake u jedinici vremena, a jedinica je nm·s-1.
Brzina taloženja ima očit utjecaj na indeks loma, čvrstoću, mehaničku čvrstoću, prianjanje i naprezanje filma. Ako je brzina taloženja niska, većina molekula pare vraća se s podloge, stvaranje kristalnih jezgara je sporo, a kondenzacija se može provesti samo na velikim agregatima, što strukturu filma čini labavom. S povećanjem brzine taloženja, formirat će se fini i gusti film, raspršenje svjetlosti će se smanjiti, a čvrstoća će se povećati. Stoga je pravilno odabrati brzinu taloženja filma važno pitanje u procesu isparavanja, a specifičan odabir treba odrediti prema materijalu filma.
Postoje dvije metode za poboljšanje brzine taloženja: (1) metoda povećanja temperature izvora isparavanja (2) metoda povećanja površine izvora isparavanja.
Vrijeme objave: 29. ožujka 2024.