O equipo de revestimento ao baleiro é un tipo de tecnoloxía de deposición de película fina nun ambiente de baleiro, que se usa amplamente en electrónica, óptica, ciencia de materiais, enerxía, etc. O equipo de revestimento ao baleiro está composto principalmente polas seguintes partes:
Cámara de baleiro: Esta é a parte central do equipo de revestimento ao baleiro, na que se levan a cabo todos os procesos de revestimento. A cámara de baleiro debe ser capaz de soportar o ambiente de baleiro e manter un bo selado.
Bomba de baleiro: Úsase para extraer o aire do interior da cámara de baleiro para crear un ambiente de baleiro. As bombas de baleiro comúns inclúen bombas mecánicas e bombas moleculares.
Fonte de evaporación: utilízase para quentar e evaporar o material de revestimento. A fonte de evaporación pode ser quecemento por resistencia, quecemento por feixe de electróns, quecemento por láser, etc.
Marco de deposición (suporte do substrato): utilízase para colocar o substrato que se vai revestir. O soporte do substrato pódese xirar ou mover para garantir a uniformidade do revestimento.
Sistema de control: utilízase para controlar todo o proceso de revestimento, incluíndo o inicio e a parada da bomba de baleiro, o control da temperatura da fonte de evaporación e o axuste da taxa de deposición.
Equipamento de medición e monitorización: utilízase para monitorizar os parámetros clave no proceso de revestimento en tempo real, como o grao de baleiro, a temperatura, a velocidade de deposición, etc.
Sistema de alimentación: para fornecer a enerxía necesaria para o equipo de revestimento ao baleiro.
Sistema de refrixeración: utilízase para arrefriar a cámara de baleiro e outros compoñentes xeradores de calor para garantir o funcionamento normal do equipo.
A coordinación eficaz destes compoñentes permite que o equipo de revestimento ao baleiro controle con precisión o grosor, a composición e a estrutura da película para satisfacer unha variedade de necesidades industriais e científicas.
–Este artigo foi publicado porfabricante de máquinas de revestimento ao baleiroGuangdong Zhenhua
Data de publicación: 27 de xullo de 2024