Is teicneolaíocht í córas sciath folúis a úsáidtear chun scannán tanaí nó sciath a chur i bhfeidhm ar dhromchla i dtimpeallacht folúis. Cinntíonn an próiseas seo sciath ardchaighdeáin, aonfhoirmeach agus buan, rud atá ríthábhachtach i dtionscail éagsúla amhail leictreonaic, optaic, gluaisteáin agus aeraspás. Tá cineálacha éagsúla córas sciath folúis ann, agus gach ceann acu oiriúnach d'fheidhmchláir shonracha. Seo a leanas roinnt príomhchineálacha:
Taisceadh Fisiceach Gaile (PVD): Baineann an próiseas seo le haistriú fisiceach ábhair ó fhoinse sholadach nó leachtach go dtí an tsubstráit. I measc na modhanna coitianta tá:
Spútaradh: Déantar ábhar a scaoileadh ó sprioc agus a thaisceadh ar an tsubstráit.
Galú: Téitear ábhar go dtí go ngalaíonn sé agus ansin comhdhlúthaíonn sé ar an tsubstráit.
Taisceadh Ceimiceach Gaile (CVD): Baineann an próiseas seo le himoibriú ceimiceach idir réamhtheachtaí céim gaile agus dromchla an tsubstráit, rud a chruthaíonn scannán soladach. I measc na n-athruithe tá:
CVD Feabhsaithe le Plasma (PECVD): Úsáideann sé plasma chun imoibrithe ceimiceacha a fheabhsú.
CVD Miotal-Orgánach (MOCVD): Úsáideann sé comhdhúile miotail-orgánacha mar réamhtheachtaithe.
Taisceadh Sraithe Adamhach (TAA): Próiseas an-rialaithe a thaisceann sraitheanna adamhacha ceann ar cheann, rud a chinntíonn tiús agus comhdhéanamh beacht.
Spútaradh Maighnéadróin: Cineál PVD ina n-úsáidtear réimsí maighnéadacha chun an plasma a theorannú, rud a mhéadaíonn éifeachtúlacht an phróisis spútaraidh.
Taisceadh Bhíoma Ian: Úsáideann sé bhíomaí ian chun ábhar a spútaradh ó sprioc agus é a thaisceadh ar an tsubstráit.
Iarratais:
Leathsheoltóirí: Bratuithe le haghaidh micrishliseanna agus comhpháirteanna leictreonacha.
Optaic: Bratuithe frith-fhrithchaiteacha, scátháin agus lionsaí.
Feithicleach: Bratuithe do chomhpháirteanna innill agus bailchríocha maisiúla.
Aeraspás: Bratuithe bacainn theirmeacha agus sraitheanna cosanta.
Buntáistí:
Bratuithe Aonfhoirmeacha: Baintear tiús agus comhdhéanamh comhsheasmhach amach ar fud an tsubstráit.
Greamaitheacht Ard: Cloíonn bratuithe go maith leis an tsubstráit, rud a fheabhsaíonn marthanacht.
Íonacht agus Cáilíocht: Laghdaíonn timpeallacht folúis éilliú, rud a fhágann bratuithe ard-íonachta.
–Tá an t-alt seo eisithe agmonaróir meaisín sciath folúisGuangdong Zhenhua
Am an phoist: 09 Iúil 2024
