Tyhjiöpinnoitusjärjestelmä on tekniikka, jota käytetään ohuen kalvon tai pinnoitteen levittämiseen pinnalle tyhjiöympäristössä. Tämä prosessi varmistaa korkealaatuisen, tasaisen ja kestävän pinnoitteen, mikä on ratkaisevan tärkeää useilla teollisuudenaloilla, kuten elektroniikassa, optiikassa, autoteollisuudessa ja ilmailu- ja avaruusteollisuudessa. Tyhjiöpinnoitusjärjestelmiä on erityyppisiä, joista jokainen sopii tiettyihin sovelluksiin. Tässä on muutamia keskeisiä tyyppejä:
Fysikaalinen höyrypinnoitus (PVD): Tässä prosessissa materiaalia siirretään fyysisesti kiinteästä tai nestemäisestä lähteestä substraattiin. Yleisiä menetelmiä ovat:
Sputterointi: Materiaali suihkuaa kohteesta ja kerrostuu alustalle.
Haihtuminen: Materiaalia kuumennetaan, kunnes se haihtuu ja tiivistyy sitten alustalle.
Kemiallinen höyrypinnoitus (CVD): Tässä prosessissa höyryfaasiprekursorin ja substraatin pinnan välillä tapahtuu kemiallinen reaktio, joka muodostaa kiinteän kalvon. Muunnelmia ovat:
Plasmatehostettu CVD (PECVD): Käyttää plasmaa kemiallisten reaktioiden tehostamiseen.
Metalli-orgaaninen CVD (MOCVD): Käyttää metalli-orgaanisia yhdisteitä lähtöaineina.
Atomikerroskasvatus (ALD): Tarkkaan kontrolloitu prosessi, jossa atomikerrokset kerrostetaan yksi kerrallaan varmistaen tarkan paksuuden ja koostumuksen.
Magnetronisputterointi: PVD-menetelmä, jossa plasmaa rajoitetaan magneettikenttien avulla, mikä lisää sputterointiprosessin tehokkuutta.
Ionisuihkukasvatus: Käyttää ionisuihkuja materiaalin ruiskuttamiseen kohteesta ja sen kerrostamiseen alustalle.
Sovellukset:
Puolijohteet: Pinnoitteet mikrosiruille ja elektronisille komponenteille.
Optiikka: Heijastamattomat pinnoitteet, peilit ja linssit.
Autoteollisuus: Moottorin osien pinnoitteet ja koristeelliset viimeistelyt.
Ilmailu- ja avaruusteollisuus: Lämpösuojapinnoitteet ja suojakerrokset.
Edut:
Yhtenäiset pinnoitteet: Saavuttaa tasaisen paksuuden ja koostumuksen koko alustalle.
Korkea tarttuvuus: Pinnoitteet tarttuvat hyvin alustaan, mikä parantaa kestävyyttä.
Puhtaus ja laatu: Tyhjiöympäristö vähentää kontaminaatiota, mikä johtaa erittäin puhtaisiin pinnoitteisiin.
–Tämä artikkeli on julkaistutyhjiöpinnoituskoneiden valmistajaGuangdong Zhenhua
Julkaisun aika: 09.07.2024