Seade ühendab magnetronpihustamise ja takistusaurustamise tehnoloogia ning pakub lahendust mitmesuguste erinevate aluspindade katmiseks.
Eksperimentaalseid katmisseadmeid kasutatakse peamiselt ülikoolides ja teadusasutustes ning need vastavad mitmesugustele eksperimentaalsetele nõuetele. Seadmetele on reserveeritud mitmesugused struktuurilised sihtmärgid, mida saab paindlikult konfigureerida, et need vastaksid teadusliku uurimis- ja arendustegevuse vajadustele erinevates valdkondades. Valida saab magnetronpihustussüsteemi, katoodkaare süsteemi, elektronkiire aurustussüsteemi, takistusaurustussüsteemi, CVD, PECVD, ioonallika, eelpingesüsteemi, küttesüsteemi, kolmemõõtmelise kinnituse jne. Kliendid saavad valida vastavalt oma erinevatele vajadustele.
Seadmel on ilusa välimuse, kompaktse konstruktsiooni, väikese põrandapinna, kõrge automatiseerituse astme, lihtsa ja paindliku töö, stabiilse jõudluse ja hõlpsa hoolduse omadused.
Seadmeid saab kasutada plastiku, roostevaba terase, galvaaniliselt kaetud metalldetailide/plastdetailide, klaasi, keraamika ja muude materjalide töötlemiseks. Valmistada saab lihtsaid metallkihte, nagu titaan, kroom, hõbe, vask, alumiinium või metallühendite kilesid, näiteks TiN / TiCN / TiC / TiO2 / TiAlN / CrN / ZrN / CrC.
| ZCL0506 | ZCL0608 | ZCL0810 |
| φ500 * K600 (mm) | φ600 * K800 (mm) | φ800 * H1000 (mm) |