La ekipaĵo integras magnetronan ŝprucadon kaj rezistan vaporigan teknologion, kaj provizas solvon por kovrado de diversaj substratoj.
La eksperimenta tega ekipaĵo estas ĉefe uzata en universitatoj kaj sciencaj esplorinstitucioj, kaj povas plenumi diversajn eksperimentajn postulojn. Diversaj strukturaj celoj estas rezervitaj por la ekipaĵo, kiu povas esti flekseble agordebla por plenumi la sciencan esploradon kaj disvolviĝon en malsamaj kampoj. Magnetrona ŝprucsistemo, katoda arka sistemo, elektronfaska vaporiĝa sistemo, rezistanca vaporiĝa sistemo, CVD, PECVD, jonfonto, biasa sistemo, hejta sistemo, tridimensia fiksaĵo, ktp. povas esti elektitaj. Klientoj povas elekti laŭ siaj malsamaj bezonoj.
La ekipaĵo havas la karakterizaĵojn de bela aspekto, kompakta strukturo, malgranda plankspaco, alta grado de aŭtomatigo, simpla kaj fleksebla operacio, stabila funkciado kaj facila bontenado.
La ekipaĵo povas esti aplikita al plasto, rustorezista ŝtalo, galvanizitaj aparataroj / plastaj partoj, vitro, ceramiko kaj aliaj materialoj. Simplaj metalaj tavoloj kiel titanio, kromo, arĝento, kupro, aluminio aŭ metalaj kunmetitaj filmoj kiel TiN / TiCN / TiC / TiO2 / TiAlN / CrN / ZrN / CrC povas esti preparitaj.
| ZCL0506 | ZCL0608 | ZCL0810 |
| φ500*H600(mm) | φ600*H800(mm) | φ800*H1000(mm) |