Ο εξοπλισμός ενσωματώνει τεχνολογία μαγνητρονικού ψεκασμού και εξάτμισης αντίστασης και παρέχει μια λύση για την επικάλυψη μιας ποικιλίας διαφορετικών υποστρωμάτων.
Ο πειραματικός εξοπλισμός επικάλυψης χρησιμοποιείται κυρίως σε πανεπιστήμια και επιστημονικά ερευνητικά ιδρύματα και μπορεί να καλύψει μια ποικιλία πειραματικών απαιτήσεων. Διάφοροι δομικοί στόχοι προορίζονται για τον εξοπλισμό, ο οποίος μπορεί να διαμορφωθεί με ευελιξία για να ανταποκριθεί στην επιστημονική έρευνα και ανάπτυξη σε διαφορετικούς τομείς. Μπορούν να επιλεγούν σύστημα ψεκασμού μαγνητρονίου, σύστημα καθοδικού τόξου, σύστημα εξάτμισης δέσμης ηλεκτρονίων, σύστημα εξάτμισης αντίστασης, CVD, PECVD, πηγή ιόντων, σύστημα πόλωσης, σύστημα θέρμανσης, τρισδιάστατο εξάρτημα κ.λπ. Οι πελάτες μπορούν να επιλέξουν ανάλογα με τις διαφορετικές ανάγκες τους.
Ο εξοπλισμός έχει τα χαρακτηριστικά της όμορφης εμφάνισης, της συμπαγούς δομής, της μικρής επιφάνειας δαπέδου, του υψηλού βαθμού αυτοματοποίησης, της απλής και ευέλικτης λειτουργίας, της σταθερής απόδοσης και της εύκολης συντήρησης.
Ο εξοπλισμός μπορεί να εφαρμοστεί σε πλαστικό, ανοξείδωτο χάλυβα, ηλεκτρολυτικά επιμεταλλωμένα εξαρτήματα / πλαστικά μέρη, γυαλί, κεραμικά και άλλα υλικά. Μπορούν να παρασκευαστούν απλά μεταλλικά στρώματα όπως τιτάνιο, χρώμιο, άργυρος, χαλκός, αλουμίνιο ή μεμβράνες μεταλλικών ενώσεων όπως TiN / TiCN / TiC / TiO2 / TiAlN / CrN / ZrN / CrC.
| ZCL0506 | ZCL0608 | ZCL0810 |
| φ500*H600 (χιλ.) | φ600*H800 (χιλ.) | φ800*H1000 (χιλ.) |