Vakuumbeschichtungsanlagen sind eine Art Dünnschichtabscheidungstechnologie im Vakuum, die in der Elektronik, Optik, Materialwissenschaft, Energie usw. weit verbreitet ist. Vakuumbeschichtungsanlagen bestehen hauptsächlich aus folgenden Teilen:
Vakuumkammer: Dies ist das Herzstück der Vakuumbeschichtungsanlage, in der alle Beschichtungsprozesse durchgeführt werden. Die Vakuumkammer muss der Vakuumumgebung standhalten und eine gute Abdichtung gewährleisten.
Vakuumpumpe: Sie dient zum Absaugen der Luft aus der Vakuumkammer, um ein Vakuum zu erzeugen. Zu den gängigen Vakuumpumpen gehören mechanische Pumpen und Molekularpumpen.
Verdampfungsquelle: Wird zum Erhitzen und Verdampfen des Beschichtungsmaterials verwendet. Als Verdampfungsquelle kommen Widerstandsheizung, Elektronenstrahlheizung, Laserheizung usw. in Frage.
Beschichtungsrahmen (Substrathalter): dient zum Platzieren des zu beschichtenden Substrats. Der Substrathalter kann gedreht oder bewegt werden, um die Gleichmäßigkeit der Beschichtung zu gewährleisten.
Steuerungssystem: Dient zur Steuerung des gesamten Beschichtungsprozesses, einschließlich Start und Stopp der Vakuumpumpe, Temperaturregelung der Verdampfungsquelle und Anpassung der Abscheidungsrate.
Mess- und Überwachungsgeräte: Dienen zur Echtzeitüberwachung der wichtigsten Parameter im Beschichtungsprozess, wie Vakuumgrad, Temperatur, Abscheidungsrate usw.
Stromversorgungssystem: Zur Bereitstellung der erforderlichen Leistung für die Vakuumbeschichtungsanlage.
Kühlsystem: Wird zum Kühlen der Vakuumkammer und anderer wärmeerzeugender Komponenten verwendet, um den normalen Betrieb des Geräts sicherzustellen.
Durch die effektive Koordination dieser Komponenten kann die Vakuumbeschichtungsanlage die Dicke, Zusammensetzung und Struktur des Films präzise steuern und so eine Vielzahl industrieller und wissenschaftlicher Anforderungen erfüllen.
–Dieser Artikel wurde veröffentlicht vonHersteller von VakuumbeschichtungsanlagenGuangdong Zhenhua
Veröffentlichungszeit: 27. Juli 2024