Proizvodnja optičkih tankoslojnih uređaja vrši se u vakuumskoj komori, a rast sloja filma je mikroskopski proces. Međutim, trenutno se makroskopski procesi koji se mogu direktno kontrolisati odnose na neke makroskopske faktore koji imaju indirektnu vezu s kvalitetom sloja filma. Uprkos tome, kroz dugotrajna i uporna eksperimentalna istraživanja, ljudi su pronašli regularnu vezu između kvaliteta filma i ovih makrofaktora, što je postalo procesna specifikacija koja vodi proizvodnju uređaja za kretanje filma i igra važnu ulogu u proizvodnji visokokvalitetnih optičkih tankoslojnih uređaja.
1. Učinak vakuumskog nanošenja galvanizacije
Utjecaj stepena vakuuma na svojstva filma posljedica je gubitka energije i hemijske reakcije uzrokovane sudarom plinske faze između preostalog plina i atoma i molekula filma. Ako je stepen vakuuma nizak, vjerovatnoća fuzije između molekula pare materijala filma i preostalih molekula plina se povećava, a kinetička energija molekula pare se znatno smanjuje, što onemogućava molekulama pare da dođu do podloge, ili da probiju sloj adsorpcije plina na podlozi, ili jedva da probiju sloj adsorpcije plina, ali je energija adsorpcije sa podlogom vrlo mala. Kao rezultat toga, film nanesen optičkim uređajima za tanki film je labav, gustoća akumulacije je niska, mehanička čvrstoća je slaba, hemijski sastav nije čist, a indeks prelamanja i tvrdoća sloja filma su loši.
Generalno, s povećanjem vakuuma, struktura filma se poboljšava, hemijski sastav postaje čistiji, ali se napon povećava. Što je veća čistoća metalnog filma i poluprovodničkog filma, to bolje, oni zavise od stepena vakuuma, što zahtijeva veću direktnu prazninu. Glavna svojstva filmova na koja utiče stepen vakuuma su indeks prelamanja, raspršenje, mehanička čvrstoća i nerastvorljivost.
2. Utjecaj brzine taloženja
Brzina taloženja je procesni parametar koji opisuje brzinu taloženja filma, izraženu debljinom filma formiranog na površini prevlake u jedinici vremena, a jedinica je nm·s-1.
Brzina taloženja ima očigledan utjecaj na indeks prelamanja, čvrstoću, mehaničku čvrstoću, prianjanje i naprezanje filma. Ako je brzina taloženja niska, većina molekula pare se vraća sa podloge, formiranje kristalnih jezgara je sporo, a kondenzacija se može odvijati samo na velikim agregatima, što strukturu filma čini labavom. Povećanjem brzine taloženja, formirat će se fini i gusti film, raspršivanje svjetlosti će se smanjiti, a čvrstoća će se povećati. Stoga je pravilno odabir brzine taloženja filma važno pitanje u procesu isparavanja, a specifičan odabir treba odrediti prema materijalu filma.
Postoje dvije metode za poboljšanje brzine taloženja: (1) metoda povećanja temperature izvora isparavanja (2) metoda povećanja površine izvora isparavanja.
Vrijeme objave: 29. mart 2024.