Vakuum örtük sistemi, vakuum mühitində səthə nazik bir film və ya örtük tətbiq etmək üçün istifadə olunan bir texnologiyadır. Bu proses elektronika, optika, avtomobil və aerokosmik kimi müxtəlif sənaye sahələrində mühüm əhəmiyyət kəsb edən yüksək keyfiyyətli, vahid və davamlı örtük təmin edir. Vakuum örtük sistemlərinin müxtəlif növləri var, hər biri xüsusi tətbiqlər üçün uyğundur. Burada bir neçə əsas növ var:
Fiziki Buxar Çöküntüsü (PVD): Bu proses materialın bərk və ya maye mənbədən substrata fiziki köçürülməsini əhatə edir. Ümumi üsullara aşağıdakılar daxildir:
Püskürtmə: Material hədəfdən atılır və substratın üzərinə qoyulur.
Buxarlanma: Material buxarlanana qədər qızdırılır və sonra substratda kondensasiya olunur.
Kimyəvi Buxar Depoziti (CVD): Bu proses buxar fazalı prekursor və substrat səthi arasında möhkəm bir film meydana gətirən kimyəvi reaksiyanı əhatə edir. Variantlar daxildir:
Plazma ilə Təkmilləşdirilmiş CVD (PECVD): Kimyəvi reaksiyaları gücləndirmək üçün plazmadan istifadə edir.
Metal-Organic CVD (MOCVD): Metal-üzvi birləşmələri prekursorlar kimi istifadə edir.
Atom Layer Deposition (ALD): Dəqiq qalınlığı və tərkibini təmin edərək, atom təbəqələrini bir-bir yerləşdirən yüksək idarə olunan prosesdir.
Maqnetron Püskürtmə: Plazmanı məhdudlaşdırmaq üçün maqnit sahələrinin istifadə olunduğu, püskürtmə prosesinin səmərəliliyini artıran PVD növü.
İon şüalarının çökməsi: Hədəfdən materialı püskürtmək və onu substratın üzərinə qoymaq üçün ion şüalarından istifadə edir.
Tətbiqlər:
Yarımkeçiricilər: Mikroçiplər və elektron komponentlər üçün örtüklər.
Optika: əks etdirməyə qarşı örtüklər, güzgülər və linzalar.
Avtomobil: Mühərrik komponentləri və dekorativ bitirmə üçün örtüklər.
Aerokosmik: Termal maneə örtükləri və qoruyucu təbəqələr.
Faydaları:
Vahid örtüklər: Substrat boyunca ardıcıl qalınlığa və tərkibə nail olur.
Yüksək yapışma: örtüklər substrata yaxşı yapışır, davamlılığı artırır.
Saflıq və Keyfiyyət: Vakuum mühiti çirklənməni azaldır, nəticədə yüksək təmizlikli örtüklər yaranır.
- Bu məqalə nəşr olunurvakuum örtük maşın istehsalçısıGuangdong Zhenhua
Göndərmə vaxtı: 09 iyul 2024-cü il