Optik nazik film cihazlarının istehsalı vakuum kamerasında həyata keçirilir və film təbəqəsinin böyüməsi mikroskopik bir prosesdir. Bununla belə, hazırda birbaşa idarə oluna bilən makroskopik proseslər plyonka təbəqəsinin keyfiyyəti ilə dolayı əlaqəsi olan bəzi makroskopik amillərdir. Buna baxmayaraq, uzunmüddətli davamlı eksperimental tədqiqatlar nəticəsində insanlar filmin keyfiyyəti ilə bu makro amillər arasında müntəzəm əlaqə tapdılar ki, bu da film səyahət cihazlarının istehsalına rəhbərlik etmək üçün bir proses spesifikasiyasına çevrildi və yüksək keyfiyyətli optik nazik film cihazlarının istehsalında mühüm rol oynayır.
1. Vakuum örtüyünün təsiri
Vakuum dərəcəsinin filmin xüsusiyyətlərinə təsiri, qalıq qaz və film atomları və molekulları arasında qaz fazasının toqquşması nəticəsində yaranan enerji itkisi və kimyəvi reaksiya ilə bağlıdır. Vakuum dərəcəsi aşağı olarsa, film materialının buxar molekulları ilə qalan qaz molekulları arasında birləşmə ehtimalı artır və buxar molekullarının kinetik enerjisi əhəmiyyətli dərəcədə azalır, bu da buxar molekullarını substrata çata bilmir və ya qazın adsorbsiya təbəqəsini keçə bilmir, lakin qazın adsorbsiya təbəqəsi ilə adsorbsiya təbəqəsini parçalaya bilmir. substrat çox kiçikdir. Nəticə etibarı ilə optik nazik plyonka aparatları ilə çökdürülmüş plyonka boşdur, yığılma sıxlığı azdır, mexaniki möhkəmlik zəifdir, kimyəvi tərkibi təmiz deyil, plyonka təbəqəsinin sınma əmsalı və sərtliyi zəifdir.
Ümumiyyətlə, vakuumun artması ilə filmin strukturu yaxşılaşır, kimyəvi tərkibi təmiz olur, lakin gərginlik artır. Metal filmin və yarımkeçirici filmin təmizliyi nə qədər yüksəkdirsə, bir o qədər yaxşıdır, onlar daha yüksək birbaşa boşluq tələb edən vakuum dərəcəsindən asılıdır. Vakuum dərəcəsindən təsirlənən filmlərin əsas xüsusiyyətləri qırılma əmsalı, səpilmə, mexaniki qüvvə və həll olunmazlıqdır.
2. Depozit dərəcəsinin təsiri
Çöküntü sürəti plyonkanın çökmə sürətini təsvir edən proses parametridir, vahid zamanda örtük səthində əmələ gələn plyonkanın qalınlığı ilə ifadə edilir və vahid nm·s-1-dir.
Çöküntü dərəcəsi filmin sınma indeksinə, möhkəmliyinə, mexaniki gücünə, yapışmasına və gərginliyinə açıq şəkildə təsir göstərir. Əgər çökmə sürəti aşağı olarsa, buxar molekullarının əksəriyyəti substratdan qayıdır, kristal nüvələrin əmələ gəlməsi ləng gedir və kondensasiya yalnız böyük aqreqatlarda həyata keçirilə bilər, beləliklə, filmin strukturu boş olur. Çöküntü sürətinin artması ilə incə və sıx bir təbəqə meydana gələcək, işığın səpilməsi azalacaq və möhkəmlik artacaq. Buna görə də, filmin çökmə sürətinin necə düzgün seçiləcəyi buxarlanma prosesində mühüm məsələdir və xüsusi seçim film materialına uyğun olaraq müəyyən edilməlidir.
Çöküntü sürətini yaxşılaşdırmaq üçün iki üsul var: (1) buxarlanma mənbəyinin temperaturunun artırılması metodu (2) buxarlanma mənbəyi sahəsinin artırılması üsulu.
Göndərmə vaxtı: 29 mart 2024-cü il