Ni aaye ti ifisilẹ fiimu tinrin, imọ-ẹrọ sputtering ti di ọna ti a lo lọpọlọpọ lati ṣaṣeyọri awọn fiimu tinrin deede ati aṣọ ni ọpọlọpọ awọn ile-iṣẹ. Iyipada ati igbẹkẹle ti awọn imọ-ẹrọ wọnyi faagun awọn ohun elo wọn, gbigba awọn onimọ-ẹrọ ati awọn oniwadi lati ṣe apẹrẹ awọn fiimu tinrin fun awọn idi kan pato. Ninu ifiweranṣẹ bulọọgi yii, a yoo ṣe akiyesi jinlẹ si awọn oriṣiriṣi awọn imọ-ẹrọ sputtering ti o wọpọ ti a lo loni, ti n ṣalaye awọn abuda alailẹgbẹ wọn, awọn anfani ati awọn ohun elo.
1. DC sputtering
DC sputtering jẹ ọkan ninu awọn ipilẹ julọ ati lilo pupọ awọn ilana ifisilẹ fiimu tinrin. Ilana naa pẹlu lilo orisun agbara DC lati ṣe ina idasilẹ didan ni agbegbe gaasi titẹ kekere. Awọn ions to dara ninu pilasima bombard awọn ohun elo ibi-afẹde, yiyọ awọn ọta ati gbigbe wọn sori sobusitireti. DC sputtering jẹ mimọ fun ayedero rẹ, ṣiṣe idiyele, ati agbara lati fi awọn fiimu tinrin ti o ni agbara giga sori ọpọlọpọ awọn sobusitireti, pẹlu gilasi, awọn ohun elo amọ, ati awọn irin.
Awọn ohun elo ti DC sputtering:
- Semikondokito iṣelọpọ
- Opitika ti a bo
- Tinrin fiimu oorun ẹyin
2. Redio Igbohunsafẹfẹ ati ifaseyin sputtering
Igbohunsafẹfẹ Redio (RF) sputtering jẹ ẹya iranlọwọ RF iyatọ iyatọ ti DC sputtering. Ni ọna yii, ohun elo ibi-afẹde ti wa ni bombarded pẹlu awọn ions ti ipilẹṣẹ nipasẹ agbara ipo igbohunsafẹfẹ redio. Iwaju aaye RF kan mu ilana ionization pọ si, gbigba iṣakoso kongẹ diẹ sii ti akopọ ti fiimu naa. Ní ọwọ́ kejì ẹ̀wẹ̀, ìfàsẹ́yìn títẹ́tí sílẹ̀ kan fífi gaasi tí ń ṣiṣẹ́ jáde, irú bí afẹ́fẹ́ nitrogen tàbí afẹ́fẹ́ ọ́fẹ́fẹ́, sínú yàrá ìtújáde. Eyi jẹ ki dida awọn fiimu tinrin ti awọn agbo ogun, gẹgẹbi awọn oxides tabi nitrides, pẹlu awọn ohun elo imudara.
Awọn ohun elo ti RF ati Reactive Sputtering:
- Anti-iroyin bo
- Semikondokito idankan
- Optical waveguides
3. Magnetron sputtering
Titọka Magnetron jẹ yiyan olokiki fun ifisilẹ oṣuwọn giga. Imọ-ẹrọ yii nlo aaye oofa nitosi aaye ibi-afẹde lati mu iwuwo pilasima pọ si, ti o mu ki ṣiṣe ionization ti o ga julọ ati ifaramọ fiimu tinrin to dara julọ. Aaye oofa afikun naa ṣe ihamọ pilasima ti o sunmọ ibi-afẹde, idinku agbara ibi-afẹde ni akawe si awọn ọna itọsi aṣa. Magnetron sputtering ṣe idaniloju awọn oṣuwọn ifisilẹ ti o ga julọ ati awọn ohun-ini ibora ti o ga julọ, ti o jẹ ki o jẹ apẹrẹ fun iṣelọpọ iwọn-nla.
Awọn ohun elo ti sputtering magnetron:
- tinrin film transistor
- Media ipamọ oofa
- Awọn aṣọ ọṣọ lori gilasi ati irin
4. Ion tan ina sputtering
Ion beam sputtering (IBS) jẹ ilana ti o wapọ fun sisọ awọn ohun elo ibi-afẹde nipa lilo ina ion kan. IBS jẹ iṣakoso pupọ, gbigba iṣakoso sisanra fiimu deede ati idinku pipadanu ohun elo. Imọ-ẹrọ yii ṣe idaniloju akopọ ti o pe stoichiometrically ati awọn ipele idoti kekere. Pẹlu iṣọkan fiimu ti o dara julọ ati yiyan jakejado ti awọn ohun elo ibi-afẹde, IBS le gbejade awọn fiimu ti ko ni abawọn, ti o jẹ ki o dara fun awọn ohun elo pataki.
Awọn ohun elo ti Ion Beam Sputtering:
- X-ray digi
- Optical Ajọ
- Anti-yiya ati kekere-edekoyede bo
ni paripari
Aye ti imọ-ẹrọ sputtering jẹ tiwa ati oriṣiriṣi, fifun awọn onimọ-ẹrọ ati awọn oniwadi ọpọlọpọ awọn aye fun ifisilẹ fiimu tinrin. Imọ ti awọn oriṣiriṣi awọn iru awọn imuposi sputtering ati awọn ohun elo wọn jẹ pataki lati ṣaṣeyọri awọn ohun-ini fiimu tinrin ti o dara julọ ni ibamu si awọn ibeere kan pato. Lati sputtering DC ti o rọrun si itọsi ion tan ina gangan, ọna kọọkan ṣe ipa pataki ni ọpọlọpọ awọn ile-iṣẹ, idasi si ilọsiwaju ti imọ-ẹrọ gige-eti.
Nipa agbọye awọn idagbasoke tuntun ni imọ-ẹrọ sputtering, a le lo agbara ti awọn fiimu tinrin lati pade awọn ibeere ti ndagba ti ile-iṣẹ ode oni. Boya ninu ẹrọ itanna, optoelectronics tabi awọn ohun elo ilọsiwaju, imọ-ẹrọ sputtering tẹsiwaju lati ṣe apẹrẹ ọna ti a ṣe apẹrẹ ati iṣelọpọ awọn imọ-ẹrọ ti ọla.
Akoko ifiweranṣẹ: Oṣu Kẹjọ-15-2023