אין דעם פעלד פון דין-פילם דעפאזיציע, איז שפּוטערינג טעכנאָלאָגיע געוואָרן אַ ברייט גענוצטע מעטאָדע צו דערגרייכן פּינקטלעכע און איינהייטלעכע דין-פילמען אין פֿאַרשידענע אינדוסטריעס. די ווערסאַטילאַטי און פאַרלעסלעכקייט פון די טעכנאָלאָגיעס יקספּאַנדירן זייערע אַפּליקאַציעס, און לאָזן אינזשענירן און פאָרשער צו צושניידן דין-פילמען פֿאַר ספּעציפֿישע צוועקן. אין דעם בלאָג פּאָסטן, וועלן מיר נעמען אַ טיפֿן בליק אויף די פֿאַרשידענע טיפּן שפּוטערינג טעכנאָלאָגיעס וואָס ווערן געוויינטלעך גענוצט הייַנט, און דערקלערן זייערע אייגנאַרטיקע כאַראַקטעריסטיקס, בענעפֿיטן און אַפּליקאַציעס.
1. גלייכשטראָם ספּאַטערינג
גלייכשטראָם ספּאַטערינג איז איינע פון די מערסט באַזישע און ברייט גענוצטע דין-פילם דעפּאָזיציע טעכניקן. דער פּראָצעס באַשטייט פון ניצן אַ גלייכשטראָם מאַכט מקור צו דזשענערירן אַ גלאָו דיסטשאַרדזש אין אַ נידעריק-דרוק גאַז סביבה. פּאָזיטיווע יאָנען אין דער פּלאַזמע באַמבאַרדירן דעם ציל מאַטעריאַל, אַרויסוואַרפן אַטאָמען און דעפּאָזיטירן זיי אויף דעם סאַבסטראַט. גלייכשטראָם ספּאַטערינג איז באַקאַנט פֿאַר זיין פּשוטקייט, קאָסטן-עפעקטיווקייט און פיייקייט צו דעפּאָזיטירן הויך-קוואַליטעט דין פילמען אויף אַ פאַרשיידנקייט פון סאַבסטראַטן, אַרייַנגערעכנט גלאָז, קעראַמיק און מעטאַלן.
אַפּליקאַציעס פון DC ספּאַטערינג:
- האַלב-קאָנדוקטאָר פאַבריקאַציע
- אָפּטיש קאָוטינג
- דין פילם זונ - צעלן
2. ראַדיאָ פרעקווענץ און רעאַקטיוו ספּאַטערינג
ראַדיאָ פרעקווענץ (RF) ספּאַטערינג איז אַ RF מאַכט אַסיסטירט וואַריאַנט פון DC ספּאַטערינג. אין דעם אופֿן, ווערט דער ציל מאַטעריאַל באַמבאַרדירט מיט יאָנען דזשענערייטאַד דורך ראַדיאָ פרעקווענץ מאַכט. די בייַזייַן פון אַן RF פעלד פֿאַרבעסערט דעם ייאַניזאַציע פּראָצעס, וואָס אַלאַוז מער פּינטלעכע קאָנטראָל פון די זאַץ פון די פילם. רעאַקטיוו ספּאַטערינג, אויף די אנדערע האַנט, ינוואַלווז די ינטראָודוסינג פון אַ רעאַקטיוו גאַז, אַזאַ ווי נייטראָגען אָדער זויערשטאָף, אין די ספּאַטערינג קאַמער. דאָס אַלאַוז די פאָרמירונג פון דין פילמס פון קאַמפּאַונדז, אַזאַ ווי אָקסיידז אָדער ניטרידעס, מיט פֿאַרבעסערטע מאַטעריאַל פּראָפּערטיעס.
אַפּליקאַציעס פון RF און רעאַקטיוו ספּאַטערינג:
- אַנטי-רעפלעקציע קאָוטינג
- האַלב-קאָנדוקטאָר באַריער
- אָפּטישע כוואַליעגיידס
3. מאַגנעטראָן ספּאַטערינג
מאַגנעטראָן ספּאַטערינג איז אַ פאָלקס ברירה פֿאַר הויך-קורס דעפּאָזיציע. די טעכנאָלאָגיע ניצט אַ מאַגנעטיש פעלד לעבן דער ציל ייבערפלאַך צו פאַרגרעסערן פּלאַזמע געדיכטקייט, ריזאַלטינג אין העכער ייאַניזיישאַן עפעקטיווקייַט און ויסגעצייכנט דין פילם אַדכיזשאַן. די נאָך מאַגנעטיש פעלד קאַנפיינז די פּלאַזמע נאָענט צו דער ציל, רידוסינג ציל קאַנסאַמשאַן קאַמפּערד צו קאַנווענשאַנאַל ספּאַטערינג מעטהאָדס. מאַגנעטראָן ספּאַטערינג ענשורז העכער דעפּאָזיציע ראַטעס און העכער קאָוטינג פּראָפּערטיעס, מאכן עס ידעאַל פֿאַר גרויס-וואָג מאַנופאַקטורינג.
אַפּליקאַציעס פון מאַגנעטראָן ספּאַטערינג:
- דין פילם טראַנזיסטאָר
- מאַגנעטישע סטאָרידזש מעדיע
- דעקאָראַטיווע קאָוטינגז אויף גלאז און מעטאַל
4. יאָן שטראַל ספּאַטערינג
יאָן שטראַל ספּאַטערינג (IBS) איז אַ ווערסאַטאַל טעכניק פֿאַר ספּאַטערינג ציל מאַטעריאַלס ניצן אַן יאָן שטראַל. IBS איז העכסט קאַנטראָולאַבאַל, אַלאַוינג פּינטלעך פילם גרעב קאָנטראָל און מינאַמייז מאַטעריאַל אָנווער. די טעכנאָלאָגיע ינשורז סטאָיכאָמעטריקלי ריכטיק קאַמפּאַזישאַן און נידעריק קאַנטאַמאַניישאַן לעוועלס. מיט זיין ויסגעצייכנט פילם יונאַפאָרמאַטי און ברייט סעלעקציע פון ציל מאַטעריאַלס, IBS קענען פּראָדוצירן גלאַט, דעפעקט-פֿרייַ פילמס, מאכן עס פּאַסיק פֿאַר ספּעציעלע אַפּלאַקיישאַנז.
אַפּליקאַציעס פון יאָן שטראַל ספּאַטערינג:
- רענטגן שפּיגל
- אָפּטישע פילטערס
- אַנטי-טראָג און נידעריק-רייַבונג קאָוטינג
אין מסקנא
די וועלט פון ספּאַטערינג טעכנאָלאָגיע איז ברייט און פֿאַרשיידנאַרטיק, און אָפֿערט אינזשענירן און פֿאָרשער אַ סך מעגלעכקייטן פֿאַר דין-פֿילם דעפּאָזיציע. וויסן פֿון די פֿאַרשידענע טיפּן ספּאַטערינג טעקניקס און זייערע אַפּליקאַציעס איז וויכטיק צו דערגרייכן אָפּטימאַלע דין-פֿילם אייגנשאַפֿטן לויט ספּעציפֿישע באַדערפֿנישן. פֿון פּשוטער DC ספּאַטערינג ביז פּינקטלעכער יאָן שטראַל ספּאַטערינג, שפּילט יעדע מעטאָדע אַ וויכטיקע ראָלע אין אַ סך אינדוסטריעס, און ביישטייערט צו דער פֿאָרשריט פֿון שניידנדיקער טעכנאָלאָגיע.
דורך פֿאַרשטיין די לעצטע אַנטוויקלונגען אין ספּאַטערינג טעכנאָלאָגיע, קענען מיר אויסנוצן די מאַכט פֿון דין פֿילמען צו טרעפֿן די וואַקסנדיקע פֿאָדערונגען פֿון דער מאָדערנער אינדוסטריע. צי אין עלעקטראָניק, אָפּטאָעלעקטראָניק אָדער פֿאָרגעשריטענע מאַטעריאַלן, ספּאַטערינג טעכנאָלאָגיע פֿאָרזעצט צו פֿאָרמען דעם וועג ווי מיר פּלאַנירן און פּראָדוצירן די טעכנאָלאָגיעס פֿון מאָרגן.
פּאָסט צייט: 15טן אויגוסט 2023