Thiết bị phủ chân không là một loại công nghệ lắng đọng màng mỏng trong môi trường chân không, được sử dụng rộng rãi trong điện tử, quang học, khoa học vật liệu, năng lượng, v.v. Thiết bị phủ chân không chủ yếu bao gồm các bộ phận sau:
Buồng chân không: Đây là bộ phận cốt lõi của thiết bị phủ chân không, nơi thực hiện tất cả các quy trình phủ. Buồng chân không phải có khả năng chịu được môi trường chân không và duy trì độ kín tốt.
Bơm chân không: Được sử dụng để hút không khí bên trong buồng chân không để tạo ra môi trường chân không. Các loại bơm chân không phổ biến bao gồm bơm cơ học và bơm phân tử.
Nguồn bốc hơi: Dùng để làm nóng và bốc hơi vật liệu phủ. Nguồn bốc hơi có thể là gia nhiệt điện trở, gia nhiệt chùm electron, gia nhiệt laser, v.v.
Khung đổ vật liệu (Substrate Holder): dùng để đặt vật liệu cần phủ. Giá đỡ vật liệu có thể xoay hoặc di chuyển để đảm bảo độ đồng đều của lớp phủ.
Hệ thống điều khiển: Được sử dụng để điều khiển toàn bộ quá trình phủ, bao gồm việc khởi động và dừng bơm chân không, kiểm soát nhiệt độ của nguồn bay hơi và điều chỉnh tốc độ lắng đọng.
Thiết bị đo lường và giám sát: Dùng để giám sát các thông số quan trọng trong quá trình phủ theo thời gian thực như độ chân không, nhiệt độ, tốc độ lắng đọng, v.v.
Hệ thống cung cấp điện: cung cấp nguồn điện cần thiết cho thiết bị phủ chân không.
Hệ thống làm mát: dùng để làm mát buồng chân không và các bộ phận sinh nhiệt khác nhằm đảm bảo thiết bị hoạt động bình thường.
Sự phối hợp hiệu quả của các thành phần này cho phép thiết bị phủ chân không kiểm soát chính xác độ dày, thành phần và cấu trúc của màng để đáp ứng nhiều nhu cầu công nghiệp và khoa học.
– Bài viết này được phát hành bởinhà sản xuất máy phủ chân khôngQuảng Đông Chấn Hoa
Thời gian đăng: 27-07-2024