Vakuumli qoplama uskunalari elektronika, optika, materialshunoslik, energetika va boshqalarda keng qo'llaniladigan vakuumli muhitda yupqa plyonkalarni joylashtirish texnologiyasining bir turi. Vakuumli qoplama uskunalari asosan quyidagi qismlardan iborat:
Vakuum kamerasi: Bu vakuumli qoplama uskunasining asosiy qismi bo'lib, unda barcha qoplama jarayonlari amalga oshiriladi. Vakuum kamerasi vakuum muhitiga bardosh bera olishi va yaxshi muhrlanishni saqlab turishi kerak.
Vakuum pompasi: Vakuum muhitini yaratish uchun vakuum kamerasi ichidagi havoni chiqarish uchun ishlatiladi. Umumiy vakuum nasoslari mexanik nasoslarni va molekulyar nasoslarni o'z ichiga oladi.
Bug'lanish manbai: qoplama materialini isitish va bug'lantirish uchun ishlatiladi. Bug'lanish manbai qarshilik isitish, elektron nurli isitish, lazerli isitish va boshqalar bo'lishi mumkin.
Cho'kma ramkasi (Substrat Holder): qoplanadigan substratni joylashtirish uchun ishlatiladi. Qoplamaning bir xilligini ta'minlash uchun substrat ushlagichini aylantirish yoki harakatlantirish mumkin.
Boshqarish tizimi: Vakuum pompasini ishga tushirish va to'xtatish, bug'lanish manbasining haroratni nazorat qilish va cho'kish tezligini sozlashni o'z ichiga olgan butun qoplama jarayonini boshqarish uchun ishlatiladi.
O'lchash va monitoring uskunalari: Vakuum darajasi, harorat, cho'kish tezligi va boshqalar kabi qoplama jarayonidagi asosiy parametrlarni real vaqt rejimida kuzatish uchun ishlatiladi.
Elektr ta'minoti tizimi: vakuumli qoplama uskunalari uchun zarur quvvatni ta'minlash.
Sovutish tizimi: uskunaning normal ishlashini ta'minlash uchun vakuum kamerasini va boshqa issiqlik ishlab chiqaruvchi komponentlarni sovutish uchun ishlatiladi.
Ushbu komponentlarning samarali muvofiqlashtirilishi vakuumli qoplama uskunasiga turli xil sanoat va ilmiy ehtiyojlarni qondirish uchun plyonkaning qalinligi, tarkibi va tuzilishini aniq nazorat qilish imkonini beradi.
- Ushbu maqola nashr etilganvakuumli qoplama mashinasi ishlab chiqaruvchisiGuangdong Chjenxua
Xabar vaqti: 27-iyul-2024