Yupqa plyonkalarni cho'ktirish sohasida sputtering texnologiyasi turli sohalarda aniq va bir xil nozik plyonkalarga erishish uchun keng qo'llaniladigan usulga aylandi. Ushbu texnologiyalarning ko'p qirrali va ishonchliligi ularning qo'llanilishini kengaytiradi, bu muhandislar va tadqiqotchilarga aniq maqsadlar uchun nozik plyonkalarni moslashtirish imkonini beradi. Ushbu blog postida biz bugungi kunda keng tarqalgan bo'lib qo'llaniladigan turli xil püskürtme texnologiyalarini chuqur ko'rib chiqamiz, ularning o'ziga xos xususiyatlari, afzalliklari va qo'llanilishini tushuntiramiz.
1. To'g'ri to'lqinli to'lqinlar
To'g'ridan-to'g'ri purkash eng asosiy va keng qo'llaniladigan nozik plyonkalarni joylashtirish usullaridan biridir. Jarayon past bosimli gaz muhitida yorqin oqim hosil qilish uchun doimiy oqim manbaidan foydalanishni o'z ichiga oladi. Plazmadagi ijobiy ionlar maqsadli materialni bombardimon qilib, atomlarni siqib chiqaradi va ularni substratga joylashtiradi. DC purkash o'zining soddaligi, tejamkorligi va yuqori sifatli yupqa plyonkalarni shisha, keramika va metallarni o'z ichiga olgan turli xil substratlarga joylashtirish qobiliyati bilan mashhur.
DC purkashning qo'llanilishi:
- yarimo'tkazgichlar ishlab chiqarish
- Optik qoplama
- Yupqa plyonkali quyosh xujayralari
2. Radiochastota va reaktiv purkash
Radiochastota (RF) püskürtme - bu doimiy to'lqinli oqimning radio chastotasi quvvatiga asoslangan variantidir. Ushbu usulda maqsadli material radiochastota kuchi bilan hosil bo'lgan ionlar bilan bombardimon qilinadi. RF maydonining mavjudligi ionlash jarayonini kuchaytiradi, bu esa plyonka tarkibini yanada aniqroq nazorat qilish imkonini beradi. Boshqa tomondan, reaktiv püskürtme, püskürtme kamerasiga azot yoki kislorod kabi reaktiv gazni kiritishni o'z ichiga oladi. Bu yaxshilangan material xususiyatlariga ega bo'lgan oksidlar yoki nitridlar kabi birikmalarning yupqa qatlamlarini hosil qilish imkonini beradi.
RF va reaktiv purkashning ilovalari:
- aks ettirishga qarshi qoplama
- yarimo'tkazgichli to'siq
- Optik to'lqin o'tkazgichlar
3. Magnetronning chayqalishi
Magnetronni püskürtme yuqori tezlikda cho'kish uchun mashhur tanlovdir. Ushbu texnologiya plazma zichligini oshirish uchun maqsadli sirt yaqinidagi magnit maydondan foydalanadi, natijada ionlanish samaradorligi yuqori va nozik plyonkaning mukammal yopishishiga olib keladi. Qo'shimcha magnit maydon plazmani nishonga yaqin chegaralab, an'anaviy püskürtme usullariga nisbatan maqsadli sarfni kamaytiradi. Magnetronning püskürtülmesi yuqori cho'kish tezligini va yuqori qoplama xususiyatlarini ta'minlaydi, bu uni keng ko'lamli ishlab chiqarish uchun ideal qiladi.
Magnitronli purkashning qo'llanilishi:
- yupqa plyonkali tranzistor
- magnit saqlash vositalari
- Shisha va metallga dekorativ qoplamalar
4. Ion nurlarining sochilishi
Ion nurlarini püskürtme (IBS) - ion nurlari yordamida maqsadli materiallarni püskürtmek uchun ko'p qirrali texnika. IBS yuqori darajada boshqarilishi mumkin, bu plyonka qalinligini aniq nazorat qilish va material yo'qotilishini minimallashtirish imkonini beradi. Ushbu texnologiya stoxiometrik jihatdan to'g'ri tarkibni va past ifloslanish darajasini ta'minlaydi. Ajoyib kino bir xilligi va maqsadli materiallarning keng tanlovi bilan IBS silliq, nuqsonsiz plyonkalar ishlab chiqarishi mumkin, bu esa uni maxsus ilovalar uchun mos qiladi.
Ion nurlarini purkashning qo'llanilishi:
- rentgen oynasi
- Optik filtrlar
- Aşınmaya qarshi va past ishqalanishli qoplama
yakunida
Sputtering texnologiyasi dunyosi keng va xilma-xil bo'lib, muhandislar va tadqiqotchilarga nozik plyonkalarni joylashtirish uchun ko'plab imkoniyatlarni taklif etadi. Muayyan talablarga muvofiq nozik plyonkaning optimal xususiyatlariga erishish uchun har xil turdagi püskürtme texnikasi va ularning qo'llanilishini bilish juda muhimdir. Oddiy doimiy tokni purkashdan tortib, aniq ion nurlarini sochishgacha, har bir usul ko'plab sohalarda muhim rol o'ynaydi va ilg'or texnologiyalarni rivojlantirishga hissa qo'shadi.
Sputtering texnologiyasidagi so'nggi ishlanmalarni tushunib, biz zamonaviy sanoatning o'sib borayotgan talablarini qondirish uchun nozik plyonkalar kuchidan foydalanishimiz mumkin. Elektronikada, optoelektronikada yoki ilg'or materiallarda bo'ladimi, purkash texnologiyasi bizning ertangi kun texnologiyalarini loyihalash va ishlab chiqarish usulini shakllantirishda davom etmoqda.
Yuborilgan vaqt: 2023 yil 15-avgust