ۋاكۇئۇم سىرلاش ئۈسكۈنىلىرى ۋاكۇئۇم مۇھىتىدىكى بىر خىل نېپىز پەردە چۆكۈش تېخنىكىسى بولۇپ ، ئېلېكترون ، ئوپتىكا ، ماتېرىيال ئىلمى ، ئېنېرگىيە قاتارلىقلاردا كەڭ قوللىنىلىدۇ. ۋاكۇئۇم سىرلاش ئۈسكۈنىلىرى ئاساسلىقى تۆۋەندىكى قىسىملاردىن تەركىب تاپقان:
ۋاكۇئۇم پالاتاسى: بۇ ۋاكۇئۇم سىرلاش ئۈسكۈنىسىنىڭ يادرولۇق قىسمى ، ئۇنىڭدا بارلىق سىرلاش جەريانلىرى ئېلىپ بېرىلىدۇ. ۋاكۇئۇم ئۆي چوقۇم ۋاكۇئۇم مۇھىتىغا بەرداشلىق بېرەلەيدىغان ۋە ياخشى پېچەتلىيەلەيدىغان بولۇشى كېرەك.
ۋاكۇئۇم پومپىسى: ۋاكۇئۇم ئۆي ئىچىدىكى ھاۋانى چىقىرىپ ، ۋاكۇئۇم مۇھىتى ھاسىل قىلىشقا ئىشلىتىلىدۇ. كۆپ ئۇچرايدىغان ۋاكۇئۇم پومپىسى مېخانىكىلىق پومپا ۋە مولېكۇلا پومپىسىنى ئۆز ئىچىگە ئالىدۇ.
پارغا ئايلىنىش مەنبەسى: سىر ماتېرىياللىرىنى قىزىتىش ۋە پارغا ئايلاندۇرۇشقا ئىشلىتىلىدۇ. پارغا ئايلىنىش مەنبەسى قارشىلىق بىلەن ئىسسىنىش ، ئېلېكترونلۇق نۇرنى قىزىتىش ، لازېرلىق قىزىتىش قاتارلىقلار بولىدۇ.
چۆكۈش رامكىسى (Substrate Holder): ئاستى قەۋەتنى سىرلاشقا ئىشلىتىلىدۇ. ئاستى قىسقۇچنى ئايلاندۇرغىلى ياكى يۆتكىگىلى بولىدۇ ، سىرنىڭ بىردەك بولۇشىغا كاپالەتلىك قىلغىلى بولىدۇ.
كونترول سىستېمىسى: ۋاكۇئۇم پومپىنىڭ قوزغىلىشى ۋە توختىتىلىشى ، پارغا ئايلىنىش مەنبەسىنىڭ تېمپېراتۇرىسىنى كونترول قىلىش ۋە چۆكۈش نىسبىتىنى تەڭشەش قاتارلىق پۈتكۈل سىرلاش جەريانىنى كونترول قىلىشقا ئىشلىتىلىدۇ.
ئۆلچەش ۋە نازارەت قىلىش ئۈسكۈنىلىرى: ۋاكۇئۇم دەرىجىسى ، تېمپېراتۇرا ، چۆكۈش نىسبىتى قاتارلىق سىرلاش جەريانىدىكى ئاچقۇچلۇق پارامېتىرلارنى دەل ۋاقتىدا نازارەت قىلىشقا ئىشلىتىلىدۇ.
توك بىلەن تەمىنلەش سىستېمىسى: ۋاكۇئۇم سىرلاش ئۈسكۈنىلىرىنى كېرەكلىك توك بىلەن تەمىنلەش.
سوۋۇتۇش سىستېمىسى: ۋاكۇئۇم كامېر ۋە باشقا ئىسسىقلىق تارقىتىدىغان زاپچاسلارنى سوۋۇتۇش ئۈچۈن ئىشلىتىلىدۇ ، ئۈسكۈنىلەرنىڭ نورمال ئىشلىشىگە كاپالەتلىك قىلىدۇ.
بۇ زاپچاسلارنىڭ ئۈنۈملۈك ماسلىشىشى ۋاكۇئۇم سىرلاش ئۈسكۈنىلىرىنىڭ ھەر خىل سانائەت ۋە ئىلمىي ئېھتىياجنى قاندۇرۇش ئۈچۈن فىلىمنىڭ قېلىنلىقى ، تەركىبى ۋە قۇرۇلمىسىنى ئېنىق كونترول قىلالايدۇ.
–بۇ ماقالە ئېلان قىلىندىۋاكۇئۇم سىرلاش ماشىنىسى ئىشلەپچىقارغۇچىگۇاڭدۇڭ جېنخۇا
يوللانغان ۋاقتى: 7-ئاينىڭ 27-كۈنىدىن 20-كۈنىگىچە