Вакуум каплау җиһазлары - вакуум мохитендә нечкә пленка туплау технологиясе, ул электроника, оптика, материаль фән, энергия һ.б. Вакуум каплау җиһазлары нигездә түбәндәге өлешләрдән тора:
Вакуум палатасы: Бу вакуум каплау җиһазларының төп өлеше, анда барлык каплау процесслары башкарыла. Вакуум камерасы вакуум мохитенә каршы торырга һәм яхшы мөһерне сакларга тиеш.
Вакуум насосы: вакуум камерасы эчендәге һаваны чыгару өчен кулланыла. Гомуми вакуум насосларына механик насослар һәм молекуляр насослар керә.
Парлану чыганагы: каплау материалын җылыту һәм парга әйләндерү өчен кулланыла. Парлану чыганагы каршылык җылыту, электрон нур җылыту, лазер җылыту һ.б. булырга мөмкин.
Депозиция рамкасы (субстрат тоткыч): субстратны каплау өчен кулланыла. Субстрат тоткычны әйләндерергә яки каплауның бердәмлеген тәэмин итү өчен күчерергә мөмкин.
Контроль система: вакуум насосының башлануы һәм тукталуы, парлану чыганагының температурасын контрольдә тоту, чүпләү тизлеген көйләү кебек бөтен каплау процессын контрольдә тоту өчен кулланыла.
Equipmentлчәү һәм мониторинг җиһазлары: каплау процессындагы төп параметрларны күзәтү өчен кулланыла, вакуум дәрәҗәсе, температура, чүпләү тизлеге һ.б.
Электр белән тәэмин итү системасы: вакуум каплау җиһазлары өчен кирәкле көч белән тәэмин итү.
Суыту системасы: җиһазның нормаль эшләвен тәэмин итү өчен вакуум камерасын һәм башка җылылык җитештерүче компонентларны суыту өчен кулланыла.
Бу компонентларның эффектив координациясе вакуум каплау җиһазларына төрле сәнәгать һәм фәнни ихтыяҗларны канәгатьләндерү өчен фильмның калынлыгын, составын һәм структурасын төгәл контрольдә тотарга мөмкинлек бирә.
IsБу мәкалә бастырылганвакуум каплау машинасы җитештерүчеГуандун Чжэнхуа
Пост вакыты: 27-2024 июль