Vakum kaplama ekipmanı, elektronik, optik, malzeme bilimi, enerji vb. alanlarda yaygın olarak kullanılan vakum ortamında bir tür ince film biriktirme teknolojisidir. Vakum kaplama ekipmanı esas olarak aşağıdaki parçalardan oluşur:
Vakum Odası: Bu, tüm kaplama işlemlerinin gerçekleştirildiği vakum kaplama ekipmanının temel parçasıdır. Vakum odası, vakum ortamına dayanabilmeli ve iyi sızdırmazlık sağlamalıdır.
Vakum Pompası: Vakum odasının içindeki havayı vakum ortamı yaratmak için kullanılır. Yaygın vakum pompaları arasında mekanik pompalar ve moleküler pompalar bulunur.
Buharlaşma Kaynağı: Kaplama malzemesini ısıtmak ve buharlaştırmak için kullanılır. Buharlaşma kaynağı direnç ısıtması, elektron ışını ısıtması, lazer ısıtması vb. olabilir.
Biriktirme çerçevesi (Alt tabaka tutucu): kaplanacak alt tabakayı yerleştirmek için kullanılır. Alt tabaka tutucu, kaplamanın düzgünlüğünü sağlamak için döndürülebilir veya hareket ettirilebilir.
Kontrol Sistemi: Vakum pompasının başlatılması ve durdurulması, buharlaşma kaynağının sıcaklık kontrolü ve biriktirme hızının ayarlanması dahil olmak üzere tüm kaplama sürecini kontrol etmek için kullanılır.
Ölçüm ve izleme ekipmanları: Kaplama sürecinde vakum derecesi, sıcaklık, biriktirme hızı vb. gibi temel parametrelerin gerçek zamanlı olarak izlenmesi için kullanılır.
Güç kaynağı sistemi: Vakum kaplama ekipmanına gerekli gücü sağlamak.
Soğutma sistemi: Ekipmanın normal çalışmasını sağlamak için vakum odasını ve diğer ısı üreten bileşenleri soğutmak için kullanılır.
Bu bileşenlerin etkili bir şekilde koordine edilmesi, vakumlu kaplama ekipmanının, çeşitli endüstriyel ve bilimsel ihtiyaçları karşılamak üzere filmin kalınlığını, bileşimini ve yapısını hassas bir şekilde kontrol etmesini sağlar.
–Bu makale tarafından yayınlanmıştırvakum kaplama makinesi üreticisiGuangdong Zhenhua
Gönderi zamanı: 27-Tem-2024