Magnitron optiki çyzykly wakuum örtük ulgamlary inçe filmleri dürli substratlara goýmak üçin ulanylýan ösen tehnologiýa, optika, elektronika we materiallar ýaly pudaklarda köplenç ulanylýar. Aşakda jikme-jik syn bar:
Komponentler we aýratynlyklar:
1. magnitron tüýdük çeşmesi:
Magnitron ýokary dykyzlykly plazma döretmek üçin ulanylýar.
Maksatly material (çeşme) ionlar bilen bombalanýar, netijede atomlar çykarylýar (tüýkürilýär) we substrata goýulýar.
Magnetron, materialyň dökülmegine baglylykda DC, impulsly DC ýa-da RF (radio ýygylygy) üçin işlenip bilner.
2. Ulgam ulgamy:
Substrat örtük kamerasynyň üsti bilen yzygiderli ýa-da kem-kemden hereket edýär.
Highokary geçirijilik önümçiligine we uly meýdanlaryň birmeňzeş örtülmegine mümkinçilik berýär.
Adatça aýna, plastmassa ýa-da metal listleri togalanmak ýa-da tekizlemek üçin ulanylýar.
3. vakuum kamerasy:
Tüýkürmegi ýeňilleşdirmek üçin gözegçilik edilýän pes basyş gurşawyny saklaýar.
- Hapalanmagynyň öňüni alýar we goýlan filmleriň ýokary arassalygyny üpjün edýär.
- Adatça substrat ýüklenende we düşürilende atmosfera şertlerine täsirini azaltmak üçin ýük gulplary bilen enjamlaşdyrylýar.
4. optiki örtük mümkinçilikleri:
- anti-şöhlelendiriji örtükler, aýnalar, süzgüçler we şöhle bölüjileri ýaly optiki örtükleri öndürmek üçin ýörite işlenip düzüldi.
- Optiki programmalar üçin möhüm bolan filmiň galyňlygyna we birmeňzeşligine takyk gözegçilik etmäge mümkinçilik berýär.
5. prosese gözegçilik ulgamlary:
- Güýç, basyş we substrat tizligi ýaly parametrleri dolandyrmak üçin ösen gözegçilik we seslenme ulgamlary.
- Hilini we yzygiderliligini üpjün etmek üçin depozit döwründe film häsiýetlerini ölçemek üçin ýerdäki diagnostika.
Goýmalar:
1. Optika:
- Öndürijiligi gowulandyrmak üçin örtük linzalary, aýnalar we beýleki optiki komponentler.
- Päsgelçilik süzgüçleri we beýleki çylşyrymly optiki enjamlar üçin köp gatly örtük öndürýär.
2. Elektronika:
- Inçe film tranzistorlary, datçikler we beýleki elektron enjamlary.
- Ekranlar we duýgur ekranlar üçin aç-açan geçiriji örtükler. 3.
3. Gün panelleri:
- Netijeliligi ýokarlandyrmak üçin şöhlelendiriji we geçiriji örtükler.
- Çydamlylygy üçin örtülen gatlaklar.
4. bezeg örtükleri:
- Estetiki maksatlar üçin örtük şaý-sepleri, sagatlar we beýleki zatlar.
Üstünlikleri:
1. Preokary takyklyk:
- Galyňlygyna we düzümine takyk gözegçilik etmek bilen birmeňzeş we gaýtalanýan örtük berýär. 2.
2. Göwrümliligi:
- Uly göwrümli gözleg we uly göwrümli önümçilik üçin amatly. 3.
3. Köpdürlüligi:
- Metallar, oksidler, nitridler we birleşýän birleşmeler ýaly köp dürli materiallary goýýar.
4. Netijelilik:
- Içerki ulgamlar üznüksiz işlemäge, iş wagty azaldýar we geçirijiligini ýokarlandyrmaga mümkinçilik berýär.
Iş wagty: Iýun-29-2024