Wakuum bug çökdürme prosesi, adatça, substrat ýüzüni arassalamak, örtükden öň taýýarlamak, bug çökdürmek, ýüklemek, örtükden soň işlemek, synagdan geçirmek we taýýar önümleri öz içine alýar.
(1) Substrat ýüzüni arassalamak. Wakuum kamerasynyň diwarlaryny, substrat çarçuwasyny we beýleki ýüz ýagyny, posy, galan örtük materialyny wakuumda bugaryp bolýar, bu bolsa plýonka gatlagynyň arassalygyna we baglanyş güýjüne gönüden-göni täsir edýär, örtükden öň arassalanmaly.
(2) Örtmezden öň taýýarlyk. Boş wakuumy degişli wakuum derejesine çenli örtmek, substrat we örtmek materiallaryny öňünden işläp taýýarlamak. Substraty gyzdyrmak, maksat çyglylygy aýyrmak we membrana esasynyň baglanyş güýjüni ýokarlandyrmakdyr. Substraty ýokary wakuum astynda gyzdyrmak substratyň ýüzünde adsorbsiýa edilen gazy desorbsiýa edip biler, soňra gazy wakuum nasosy arkaly wakuum kamerasyndan çykaryp biler, bu bolsa örtmek kamerasynyň wakuum derejesini, plýonka gatlagynyň arassalygyny we plýonka esasynyň baglanyş güýjüni gowulandyrmaga ýardam edýär. Belli bir wakuum derejesine ýetenden soň, elektrik energiýasynyň pes güýji bolan ilki bugaryş çeşmesi, plýonka öňünden gyzdyrylýar ýa-da öňünden ereýär. Substrata bugaryşmagyň öňüni almak üçin, bugaryş çeşmesini we çeşme materialyny bölejik bilen örtüň we soňra ýokary elektrik energiýasyna giriň, örtmek materialy bugaryş temperaturasyna çalt gyzdyrylýar, bugaryşýar we soňra bölejik aýrylýar.
(3) Bugaryş. Bugaryş tapgyryndan başga-da, howa basyşynyň çökündisinden daşarda örtük materialynyň bugaryş temperaturasy hem örän möhüm parametrdir. Gaz basyşynyň çökündisi, ýagny örtük otagynyň wakuumy, bugaryş giňişliginde hereket edýän gaz molekulalarynyň ortaça erkin aralygyny we bug we galan gaz atomlarynyň aşagynda belli bir bugaryş aralygyny, şeýle hem bug atomlarynyň arasyndaky çaknyşyklaryň sanyny kesgitleýär.
(4) Ýük düşürmek. Plenka gatlagynyň galyňlygy talaplara laýyk gelenden soň, bugarma çeşmesini böwet bilen ýapyň we gyzdyrmagy bes ediň, ýöne howany derrew gönükdirmäň, wakuum şertlerinde sowamagy dowam etdirmegiň zerurlygy ýüze çyksa, örtügiň, örtük materialynyň we garşylygynyň galyndysynyň, bugarma çeşmesiniň oksidlenmeginiň öňüni almak üçin we ş.m., soňra nasosy bes ediň, soňra üfläň, substraty çykarmak üçin wakuum kamerasyny açyň.
–Bu makala çap edildiwakuum örtük maşyny öndürijiGuangdong Zhenhua
Ýerleşdirilen wagty: 2024-nji ýylyň 27-nji sentýabry