Вакуумдық бумен тұндыру процесіне әдетте субстрат бетін тазалау, жабу алдындағы дайындық, бумен тұндыру, тиеу, жабудан кейінгі өңдеу, сынау және дайын өнімдер кіреді.
(1) Негіз бетін тазалау. Вакуумдық камера қабырғалары, негіз жақтауы және басқа да беткі май, тот, қалдық қаптама материалы вакуумда оңай буланады, бұл пленка қабатының тазалығына және байланыс күшіне тікелей әсер етеді, қаптаманы жабар алдында тазалау қажет.
(2) Жабу алдындағы дайындық. Бос вакуумды тиісті вакуум дәрежесіне дейін жабу, негізді және жабын материалдарын алдын ала өңдеу. Негізді қыздырудың мақсаты - ылғалды кетіру және мембраналық негіздің байланыс күшін арттыру. Негізді жоғары вакуумда қыздыру негіз бетіндегі адсорбцияланған газды десорбциялауға, содан кейін вакуумдық сорғы арқылы газды вакуумдық камерадан шығаруға мүмкіндік береді, бұл жабын камерасының вакуум дәрежесін, пленка қабатының тазалығын және пленка негізінің байланыс күшін жақсартуға көмектеседі. Белгілі бір вакуум дәрежесіне жеткеннен кейін, алдымен төмен электр қуатымен булану көзін, пленканы алдын ала қыздыру немесе алдын ала балқыту керек. Булануды негізге болдырмау үшін булану көзі мен бастапқы материалды бөгетпен жабу керек, содан кейін жоғары электр қуатын енгізу керек, жабын материалы булану температурасына дейін тез қыздырылады, буланады, содан кейін бөгет алынып тасталады.
(3) Булану. Булану сатысынан басқа, тиісті субстрат температурасын таңдау үшін, ауа қысымының тұндырылуынан тыс қаптама материалының булану температурасы да өте маңызды параметр болып табылады. Жабын бөлмесінің вакуумы болып табылатын газ қысымының тұндырылуы булану кеңістігінде қозғалатын газ молекулаларының орташа еркін диапазонын және бу мен қалдық газ атомдарының астындағы белгілі бір булану қашықтығын және бу атомдары арасындағы соқтығысу санын анықтайды.
(4) Түсіру. Қабық қабатының қалыңдығы талаптарға сай болғаннан кейін, булану көзін бөгетпен жауып, қыздыруды тоқтатыңыз, бірақ ауаны бірден бағыттамаңыз, вакуум жағдайында салқындатуды жалғастыру қажет, бұл жабынның, қалдық жабын материалының және кедергісінің алдын алу үшін, булану көзін тотықтырады, содан кейін сорғыны тоқтатады, содан кейін үрлейді, субстратты алу үшін вакуумдық камераны ашады.
– Бұл мақала жарияланғанвакуумдық жабын машинасын өндірушіГуандун Чжэнхуа
Жарияланған уақыты: 2024 жылғы 27 қыркүйек