عملية التبخير بالتفريغ

تتضمن عملية الترسيب بالبخار الفراغي بشكل عام تنظيف سطح الركيزة، والتحضير قبل الطلاء، والترسيب بالبخار، والتحميل، والمعالجة بعد الطلاء، والاختبار، والمنتجات النهائية.

(1) تنظيف سطح الركيزة. من السهل أن تتبخر الزيوت والصدأ وبقايا مواد الطلاء من جدران حجرة التفريغ وإطار الركيزة وغيرها من الأسطح في الفراغ، مما يؤثر بشكل مباشر على نقاء طبقة الفيلم وقوة الترابط، لذا يجب تنظيفها قبل الطلاء.
(2) التحضير قبل الطلاء. يتم طلاء الركيزة ومواد الطلاء في فراغ مناسب، ثم تُعالج مسبقًا. تُسخّن الركيزة لإزالة الرطوبة وتعزيز قوة تماسكها مع قاعدة الغشاء. يُساعد تسخين الركيزة تحت فراغ عالٍ على إزالة الغازات الممتصة على سطحها، ثم يُسحب الغاز من حجرة الفراغ بواسطة مضخة تفريغ، مما يُحسّن درجة الفراغ في حجرة الطلاء، ونقاء طبقة الفيلم، وقوة تماسكها مع قاعدة الفيلم. بعد الوصول إلى درجة فراغ معينة، يُستخدم مصدر تبخير ذو قدرة كهربائية منخفضة لتسخين الفيلم أو صهره مسبقًا. ولمنع وصول التبخر إلى الركيزة، يُغطى مصدر التبخير ومادة الطلاء بحاجز، ثم يُمرر مصدر كهربائي ذو قدرة أعلى، فتُسخّن مادة الطلاء بسرعة إلى درجة حرارة التبخر، ثم يُزال الحاجز.
(3) التبخر. بالإضافة إلى مرحلة التبخر، يُعد اختيار درجة حرارة الركيزة المناسبة عاملاً بالغ الأهمية، كما أن درجة حرارة تبخر مادة الطلاء خارج نطاق ضغط الهواء المستخدم في الترسيب تُعتبر أيضاً من المعايير المهمة. ويحدد ضغط غاز الترسيب، أي الفراغ في غرفة الطلاء، متوسط ​​مدى حركة جزيئات الغاز في حيز التبخر، ومسافة التبخر التي تفصل بين ذرات البخار والغاز المتبقي، وعدد التصادمات بين ذرات البخار.
(4) التفريغ. بعد أن يفي سمك طبقة الفيلم بالمتطلبات، قم بتغطية مصدر التبخير بحاجز وأوقف التسخين، ولكن لا توجه الهواء على الفور، بل استمر في التبريد تحت ظروف الفراغ لفترة من الوقت، لمنع الطلاء، ومادة الطلاء المتبقية والمقاومة، وأكسدة مصدر التبخير وما إلى ذلك، ثم أوقف الضخ، ثم قم بالنفخ، وافتح حجرة الفراغ لإخراج الركيزة.

– نُشر هذا المقال بواسطةمصنع آلات الطلاء بالتفريغقوانغدونغ تشنهوا