Вакуумдук буу менен чөктүрүү процесси, адатта, субстраттын бетин тазалоону, каптоого чейинки даярдоону, буу менен чөктүрүүнү, жүктөө, каптоодон кийинки иштетүүнү, сыноону жана даяр продукцияны камтыйт.
(1) Субстраттын бетин тазалоо. Вакуумдук камеранын дубалдарын, субстраттын рамасын жана башка беттик майларды, дат баскан жерлерди, калдык каптоочу материалды вакуумда оңой буулантып жиберүүгө болот, бул пленка катмарынын тазалыгына жана байланыш күчүнө түздөн-түз таасир этет, каптоодон мурун тазалоо керек.
(2) Каптоодон мурун даярдоо. Бош вакуумду тиешелүү вакуум даражасына чейин каптоо, субстрат жана каптоо материалдары алдын ала иштетүү үчүн. Субстратты ысытуунун максаты - нымдуулукту кетирүү жана мембраналык негиздин байланыш күчүн жогорулатуу. Субстратты жогорку вакуум астында ысытуу субстраттын бетиндеги адсорбцияланган газды десорбциялап, андан кийин вакуум насосу менен вакуум камерасынан газды чыгарып салат, бул каптоо камерасынын вакуум даражасын, пленка катмарынын тазалыгын жана пленка негизинин байланыш күчүн жакшыртууга өбөлгө түзөт. Белгилүү бир вакуум даражасына жеткенден кийин, электр кубаты төмөн болгон биринчи буулануу булагын, пленканы алдын ала ысытуу же эритүү керек. Буулануунун субстратка өтүшүнө жол бербөө үчүн, буулануу булагын жана булак материалын тосмо менен жаап, андан кийин жогорку кубаттуулуктагы электр энергиясын киргизип, каптоо материалы буулануу температурасына чейин тез ысытылат, бууланат жана андан кийин тосмо алынып салынат.
(3) Буулануу. Туура келген субстрат температурасын тандоо үчүн буулануу этабынан тышкары, аба басымынын чөкмөсүнөн тышкары каптоочу материалдын буулануу температурасы да абдан маанилүү параметр болуп саналат. Каптоочу бөлмөнүн вакууму болгон газ басымынын чөкмөсү буулануу мейкиндигинде кыймылдаган газ молекулаларынын орточо эркин диапазонун жана буу менен калдык газ атомдорунун астындагы белгилүү бир буулануу аралыгын жана буу атомдорунун ортосундагы кагылышуулардын санын аныктайт.
(4) Жүк түшүрүү. Плёнка катмарынын калыңдыгы талаптарга жооп бергенден кийин, буулануу булагын тосмо менен жаап, жылытууну токтотуңуз, бирок абаны дароо багыттабаңыз, муздатуу үчүн бир аз убакытка вакуум шарттарында муздатууну улантуу керек, каптоону, калдык каптоо материалынын жана каршылыктын алдын алуу үчүн, буулануу булагынын кычкылданышын ж.б. токтотуп, андан кийин сордурууну токтотуп, андан кийин үйлөп, субстратты алып салуу үчүн вакуум камерасын ачыңыз.
– Бул макала жарыяланганвакуумдук каптоочу машина өндүрүүчүсүГуандун Чжэнхуа
Жарыяланган убактысы: 2024-жылдын 27-сентябры