진공 증착 공정은 일반적으로 기판 표면 세척, 코팅 전 준비, 증착, 로딩, 코팅 후 처리, 테스트 및 완제품 생산을 포함합니다.
(1) 기판 표면 세척. 진공 챔버 벽, 기판 프레임 및 기타 표면의 오일, 녹, 잔류 도금 재료는 진공에서 쉽게 증발하여 필름층의 순도와 접착력에 직접적인 영향을 미치므로 도금 전에 세척해야 합니다.
(2) 코팅 전 준비. 코팅 챔버를 적절한 진공도로 진공 충전한 후, 기판과 코팅 재료를 전처리한다. 기판을 가열하는 목적은 수분을 제거하고 막 기저면의 접착력을 강화하기 위함이다. 고진공 상태에서 기판을 가열하면 기판 표면에 흡착된 가스를 탈착시키고 진공 펌프를 이용하여 진공 챔버 밖으로 가스를 배출할 수 있다. 이는 코팅 챔버의 진공도, 필름층의 순도 및 필름 기저면의 접착력을 향상시키는 데 도움이 된다. 일정 진공도에 도달한 후, 낮은 전력의 증발원을 사용하여 필름을 예열 또는 예비 용융한다. 기판으로의 증발을 방지하기 위해 증발원과 증발원 재료를 칸막이로 덮은 후, 높은 전력을 가하여 코팅 재료를 증발 온도까지 급속 가열하고 증발시킨 후 칸막이를 제거한다.
(3) 증발. 적절한 기판 온도를 선택하는 증발 단계 외에도 증착 외부의 공기압에 의한 도금 재료 증발 온도는 매우 중요한 매개변수입니다. 코팅실 진공인 증착 가스 압력은 증발 공간에서 이동하는 가스 분자의 평균 자유 범위와 증기 및 잔류 가스 원자 아래의 특정 증발 거리 및 증기 원자 간의 충돌 횟수를 결정합니다.
(4) 언로딩. 필름층의 두께가 요구 사항을 충족한 후 증발원을 배플로 덮고 가열을 중지하지만 즉시 공기를 유도하지 말고 도금, 잔류 도금 재료 및 저항, 증발원 등의 산화를 방지하기 위해 진공 조건에서 일정 시간 동안 계속 냉각해야 합니다. 그런 다음 펌핑을 중지하고 팽창시킨 후 진공 챔버를 열어 기판을 꺼냅니다.
이 기사는 다음에서 발표했습니다.진공 코팅기 제조업체광둥진화
게시 시간: 2024년 9월 27일