Вакуум пар белән каплау процессы, гадәттә, субстрат өслеген чистартуны, каплау алдыннан әзерләүне, пар белән каплауны, йөкләүне, каплаудан соң эшкәртүне, сынауны һәм әзер продуктларны үз эченә ала.
(1) Субстрат өслеген чистарту. Вакуум камерасы стеналарын, субстрат рамкасын һәм башка өслек майын, датны, калдык каплау материалын вакуумда җиңел парга әйләндерә, бу пленка катламының сафлыгына һәм тоташтыру көченә турыдан-туры тәэсир итә, каплау алдыннан чистартырга кирәк.
(2) Каплау алдыннан әзерлек. Буш вакуумны тиешле вакуум дәрәҗәсенә кадәр каплау, субстратны һәм каплау материалларын алдан эшкәртү. Субстратны җылытуның максаты - дымны бетерү һәм мембрана нигезенең бәйләнеш көчен арттыру. Субстратны югары вакуум астында җылыту субстрат өслегендәге адсорбцияләнгән газны десорбцияли ала, аннары газны вакуум насосы ярдәмендә вакуум камерасыннан чыгара ала, бу каплау камерасының вакуум дәрәҗәсен, пленка катламының сафлыгын һәм пленка нигезенең бәйләнеш көчен яхшыртуга ярдәм итә. Билгеле бер вакуум дәрәҗәсенә җиткәннән соң, түбәнрәк электр көче белән беренче парга әйләнү чыганагы, пленканы алдан җылыту яки алдан эретү. Субстратка парга әйләнүне булдырмас өчен, парга әйләнү чыганагын һәм чыганак материалын каплагыч белән каплагыз, аннары югарырак электр көчен кертегез, каплау материалы тиз парга әйләнү температурасына кадәр җылытыла, парга әйләнә һәм каплагычны ала.
(3) Парга әйләнү. Тиешле субстрат температурасын сайлау өчен парга әйләнү этабыннан тыш, һава басымы утырмасыннан тыш каплау материалының парга әйләнү температурасы да бик мөһим параметр булып тора. Каплау бүлмәсе вакуумы булган газ басымы утырма, парга әйләнү киңлегендә хәрәкәт итүче газ молекулаларының уртача ирекле диапазонын һәм пар һәм калдык газ атомнары астындагы билгеле бер парга әйләнү аралыгын, шулай ук пар атомнары арасындагы бәрелешләр санын билгели.
(4) Бушату. Пленка катламы таләпләргә туры килгәннән соң, парга әйләнү чыганагын каплагыч белән каплагыз һәм җылытуны туктатыгыз, ләкин һаваны шунда ук юнәлтмәгез. Вакуум шартларында суынуны дәвам итәргә кирәк, каплауны, калдык каплау материалын һәм каршылыкны булдырмаска, парга әйләнү чыганагы оксидлашуын һ.б. булдырмаска кирәк, аннары насослауны туктатыгыз, аннары тутырыгыз, субстратны алу өчен вакуум камерасын ачыгыз.
–Бу мәкалә бастырып чыгарылдывакуум каплау машинасы җитештерүчесеГуандун Чжэнхуа
Бастырып чыгару вакыты: 2024 елның 27 сентябре