③ Örtügiň ýokary hilliligi Ion bombardmany membrananyň dykyzlygyny ýokarlandyryp, membrananyň guramaçylyk gurluşyny gowulandyryp, membrana gatlagynyň deňligini gowy edip, dykyz örtük gurluşyny, çişmeleriň we köpürjikleriň az bolmagyny üpjün edip, membrana gatlagynyň hilini ýokarlandyrýar.
④Ýokary çökündi tizligi, çalt plýonka emele getirme tizligi, 30 um galyňlykdaky plýonka taýýarlap bilýär.
⑤ Örtüge ulanylýan substrat materialy we plýonka materialy deňeşdirme boýunça giňdir. Metall birleşmeleriniň, metal däl materiallaryň, mysal üçin polat, reňkli däl metallar, kwarts, keramika, plastmassa we örtügiň ýüzündäki beýleki materiallaryň metal ýa-da metal däl ýüz örtügine degişlidir. Plazmanyň işjeňligi birleşmeleriň sintez temperaturasyny peseltmäge ýardam edýändigi sebäpli, ion örtügi dürli örän berk birleşme plýonkalaryny örtümegi ýeňilleşdirýär.
Ion örtügi ýokardaky häsiýetlere eýe bolandygy sebäpli, onuň ulanylyş ugurlary örän giň. Ion örtük tehnologiýasy metallary, erginleri, geçiriji materiallary we hatda geçiriji däl materiallary (ýokary ýygylykly täsiri ulanmak bilen) substrata örtmek üçin ulanylyp bilner. Plýonkanyň ion örtük çökündisi metal plýonka, köp erginli plýonka, garyşyk plýonka bolup biler, bir gatlakly örtük bilen örtülip bilner, şeýle hem kompozit örtük bilen örtülip bilner; şeýle hem gradient örtük bilen örtülip bilner we nano-köp gatlakly örtük bilen örtülip bilner. Dürli membran materiallaryny, dürli reaksiýa gazlaryny we dürli proses usullaryny we parametrlerini ulanmak bilen, berk aşynma çydamly örtükleriň ýüzüni berkitmek, dykyz we himiki taýdan durnukly korroziýa çydamly örtük, berk ýaglama gatlagy, dürli reňkli bezeg gulp gatlagy, şeýle hem elektronika, optika, energiýa ylymlary we beýleki zerur ýörite funksional örtükler gazanylyp bilner. Ion örtük tehnologiýasy we ion örtük önümleri giňden ulanylýar.
–Bu makala çap edildiwakuum örtük maşyny öndürijiGuangdong Zhenhua
Ýerleşdirilen wagty: 2024-nji ýylyň 12-nji ýanwary