③ Каплауның югары сыйфаты. Ион бомбардированиесе мембрана тыгызлыгын арттыра, мембрананың оештыру структурасын яхшырта, мембрана катламының бердәмлеген яхшырта, тыгыз каплау оештыруын тәэмин итә, тишекләр һәм күбекләр азая, шуның белән мембрана катламының сыйфатын яхшырта.
④Югары утыру тизлеге, тиз пленка формалаштыру тизлеге, 30 мкм калынлыктагы пленка әзерләргә мөмкин.
⑤ Каплауга кулланыла торган субстрат материалы һәм пленка материалы чагыштырмача киң. Металл яки металл булмаган өслек каплау өчен кулланыла. Металл кушылмаларын, металл булмаган материалларны, мәсәлән, корыч, төсле металлар, кварц, керамика, пластмасса һәм каплау өслегендәге башка материалларны. Плазма активлыгы кушылмаларның синтез температурасын төшерүгә ярдәм иткәнлектән, ион каплау төрле суперкаты кушылма пленкаларын каплауны җиңеләйтә.
Ион каплавы югарыда күрсәтелгән үзенчәлекләргә ия булганлыктан, аның куллану даирәләре бик киң. Ион каплавы технологиясе металлларны, эретмәләрне, үткәргеч материалларны һәм хәтта үткәргеч булмаган материалларны (югары ешлыклы тайпылыш кулланып) субстратка каплау өчен кулланылырга мөмкин. Пленканы ион каплавы белән каплау металл пленка, күп эретмәле пленка, кушылма пленка булырга мөмкин, бер катламлы, шулай ук композит каплау белән капланырга мөмкин; шулай ук градиент каплау һәм нано-күп катламлы каплау белән капланырга мөмкин. Төрле мембрана материалларын, төрле реакция газларын һәм төрле процесс ысулларын һәм параметрларын кулланып, каты тузуга чыдам каплау, тыгыз һәм химик яктан тотрыклы коррозиягә чыдам каплау, каты майлау катламы, төрле төстәге декоратив йозак катламы, шулай ук электроника, оптика, энергетика фәннәре һәм башка махсус функциональ каплау кирәк. Ион каплау технологиясе һәм ион каплау продуктлары киң кулланыла.
–Бу мәкалә бастырып чыгарылдывакуум каплау машинасы җитештерүчесеГуандун Чжэнхуа
Бастырып чыгару вакыты: 2024 елның 12 гыйнвары